A 200 L
A 100 L 설계를 바탕으로, A 200 L은 더 높은 펌핑 용량과 매우 높은 펌핑 사이클을 충족시킵니다. 이 펌프는 현장 예방 정비가 필요하지 않고 신뢰도가 A 100 L과 동등하고 MTBF는 195,000시간이 넘습니다.
어플리케이션
- 반도체 산업의 로드 로크 및 트랜스퍼 챔버
- 광전지 응용 분야의 로크 및 스퍼터링 챔버
- 극저온 응용 분야 및 기초 연구 실험실에서 사용
- 산업(극저온, 가스 제조사, 레이저 소스)
고객 가치
- 고성능
- 신뢰성이 높음
- 에너지 효율
- 콤팩트
- 적재 가능
- 저진동, 저소음
- 플러그 앤 플레이 시스템: 통합 모니터링
- 옵션 RS-232/RS-485 인터페이스
제품 설명
- 로크 및 트랜스퍼 챔버에서 높은 펌핑 사이클 주파수
- 200 m3/h의 높은 펌핑 속도
제품
펌핑 속도가 200 m3/h인 컴팩트 경부하 건식 펌프
- 펌프에 수냉 회로 장착
- 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시