A 200 L

어플리케이션

• 반도체 산업의 에어 로크 및 트랜스퍼 챔버
• 광전지 응용분야의 에어 로크 및 스퍼터링 챔버
• 극저온 응용분야 및 연구 실험실에서의 사용
• 산업(극저온, 가스 생산업체, 레이저 소스)

고객 가치

• 높은 출력
• 신뢰성이 높음
• 에너지 효율적임
• 컴팩트함
• 적층식
• 낮은 진동 및 소음 레벨
• 플러그앤플레이 시스템: 통합형 모니터링 장치
• 옵션 RS232 / RS485 인터페이스

제품 설명

• 200 m³/h의 높은 펌핑 속도

제품