A 200 L

A 100 L 설계를 바탕으로, A 200 L은 더 높은 펌핑 용량과 매우 높은 펌핑 사이클을 충족시킵니다. 이 펌프는 현장 예방 정비가 필요하지 않고 신뢰도가 A 100 L과 동등하고 MTBF는 195,000시간이 넘습니다.

어플리케이션

  • 반도체 산업의 로드 로크 및 트랜스퍼 챔버
  • 광전지 응용 분야의 로크 및 스퍼터링 챔버
  • 극저온 응용 분야 및 기초 연구 실험실에서 사용
  • 산업(극저온, 가스 제조사, 레이저 소스)

고객 가치

  • 고성능
  • 신뢰성이 높음
  • 에너지 효율
  • 콤팩트
  • 적재 가능
  • 저진동, 저소음
  • 플러그 앤 플레이 시스템: 통합 모니터링
  • 옵션 RS-232/RS-485 인터페이스

제품 설명

  • 로크 및 트랜스퍼 챔버에서 높은 펌핑 사이클 주파수
  • 200 m3/h의 높은 펌핑 속도

제품

펌핑 속도가 200 m3/h인 컴팩트 경부하 건식 펌프
  • 펌프에 수냉 회로 장착
  • 작동 시간 카운터와 3개의 컬러 LED가 펌프 상태에 대한 정보를 전면에 표시
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