고부식성 응용 분야용 다단계 루츠 펌프

XN 제품군의 건식 공정 펌프는 대부분의 부식성 공정의 요구사항을 충족하도록 제작되었습니다. 펌프 속도 범위가 600 ~ 2,900 m3/h인 XN 제품군은 내식성이 중요한 대부분의 응용 분야의 요구사항을 충족합니다. 이 혁신적 기술은 정비 빈도를 줄이고 펌핑 수명을 늘려줍니다. 소유 비용은 물론 공구 정지 시간을 대폭 줄여줍니다.

XN 제품군 펌프는 다른 시리즈의 펌프와 호환됩니다.

장점

  • 완전한 내식성으로 수명이 길어지고 견고성이 높아짐
  • 부식이 매우 심한 응용 분야에서 최대 5배 길어진 수명
  • 컴팩트한 구조로 인해 설치 면적이 작음
  • 유지보수 간의 평균 주기가 길고 에너지 절약 모드 기능이 있어 운영 비용이 절감됨
  • 경량으로 조립이 간단해짐
  • 중간 부하 응용 분야에서 높은 신뢰성 제공
  • 반도체 생산 요구 사항과의 호환성 제공
  • 확장된 모니터링 기능으로 펌프 작동 조건을 정확하게 제어함

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • 코팅 산업: 광전지 및 LED

부식성이 매우 강한 공정에 최적합한 솔루션.
A3 및 A4 시리즈의 모든 기술적 장점과 이점을 이어받은 XN 제품군은 공정 가스와 접촉하는 모든 부품에 니켈 코팅을 하여 내부식성을 높였습니다. H 및 X 모델과 비교할 때 수명은 예를 들어 폴리 에칭과 같이 부식성이 매우 높은 응용 분야에서 크게 늘어났습니다.

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