A3XN 시리즈

A3XN 시리즈의 건식 공정 펌프는 운영 비용을 줄이면서 부식성 중간 부하 공정의 요구사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이전의 펌프 기술과 비교할 때, 최대 50%까지 에너지 절약이 가능합니다. 이 펌프는 공정 안정성을 위해 최신 지식을 통합했습니다. 이 밖에 컴팩트한 구조로 공간을 절약할 수 있습니다. 이 혁신적 기술은 정비 빈도를 줄이고 펌핑 수명을 늘려줍니다. 소유 비용은 물론 공구 정지 시간을 대폭 줄여줍니다.

A3XN 제품군 펌프는 이전의 A3P 시리즈와 호환됩니다.

장점

  • 완전한 내식성으로 수명이 길어지고 견고성이 높아짐
  • 부식이 매우 심한 응용 분야에서 최대 5배 길어진 수명
  • 컴팩트한 구조로 인해 설치 면적이 작음
  • 유지보수 간의 평균 주기가 길고 에너지 절약 모드 기능이 있어 운영 비용이 절감됨
  • 경량으로 조립이 간단해짐
  • 중간 부하 응용 분야에서 높은 신뢰성 제공
  • 반도체 생산 요구 사항과의 호환성 제공
  • 확장된 모니터링 기능으로 펌프 작동 조건을 정확하게 제어함

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, High K)

중간 부하의 부식성 공정에서 높은 신뢰성을 제공하도록 설계됨
건식 펌프는 매우 뛰어나 내식성과 함께 중간 부하 공정에 대한 높은 신뢰성으로 다른 제품과 차별화됩니다. 이 시리즈의 펌프에는 온도 센서와 불활성 기체 플러싱이 있습니다. 낮은 잡음 방출과 낮은 진동 수준이 A3XN에 추가된 특성입니다.

반도체 산업용 건식 펌프
A3XN 시리즈의 건식 펌프는 성능이 입증된 다단계 루츠 기술에 기반했습니다. 니켈 코팅 기술을 사용한 펌프 내부는 부식성 가스에 매우 강합니다. 이러한 이유 때문에, 이 펌프는 중간 부하의 부식성 공정에서 신뢰성이 높습니다.

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