A4XN 시리즈

A4XN 시리즈의 건식 펌프는 부식성이 매우 강한 응용 분야에 사용됩니다

반도체 생산에서 고부하 공정은 언제나 진공 펌프에 대한 새로운 과제를 제기합니다. 성능이 입증되고 에너지 효율적인 다단계 루츠 기술에 기반한 A4 시리즈는 부식성이 매우 강한 응용 분야용으로 설계된 600 ~ 2,900 m3/h 범위의 다양한 펌프 속도로 네 가지의 광범위한 건식 펌프 솔루션을 제공합니다.

A4XN 시리즈는 이전 시리즈 및 버전(H와 X)와 완전히 호환됩니다.

장점

  • 니켈 코팅 기술 덕분에 최고의 내식성으로 수명이 연장됨
  • 다단계 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용 덕분에 에너지 효율이 높음
  • 광범위한 작동 온도 범위로 펌프의 균열이나 응축물의 퇴적을 방지함
  • 높은 고장간 평균 시간 및 낮은 소유 비용
  • 높은 입자 허용치로 공구 가동 시간을 늘림
  • 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능
  • Semi S2-0712 및 UL 61010 준수

응용 분야

  • 반도체 산업(Etch, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • 코팅 산업 광전지 및 LED

부식성이 매우 강한 공정에 최적합한 솔루션.
A4H 및 A4X 시리즈의 모든 기술적 장점과 이점을 이어받은A4XN 제품군은 공정 가스와 접촉하는 모든 부품에 니켈 코팅을 하여 내부식성을 높였습니다. A4H 및 A4X 모델과 비교할 때 수명은 예를 들어 폴리 에칭과 같이 부식성이 매우 높은 응용 분야에서 크게 늘어났습니다.

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