중간 부하 응용 분야용 다단계 루츠 펌프

A4H 및 A3P 시리즈의 건식 공정 펌프는 반도체, 코팅 및 태양 전지 산업에서 까다로운 공정을 위한 에너지 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.

중간 부하 공정이란 무엇입니까?
중간 부하 공정은 예를 들어 반도체 및 코팅 산업에서 사용되는 화학 공정입니다. 중간 부하 공정은 포어 라인에서 또는 펌프 내부에서 직접 생성된 부산물 때문에 경부하 공정보다 부식성이 더 강합니다. 중간 부하의 경우 대량의 부식성 기체를 사용하는 공정을 배제합니다. 이러한 중간 부하의 응용 분야에서는 높은 펌프 속도, 중간 정도의 유입 유량 또는 중간 수준의 분말 관리가 필요할 수 있습니다. 일반적인 중간 부하 공정이란 200 mm 반도체 팹에서의 스트리핑 또는 식각 및 CVD 공정을 말합니다.

응용 분야에 적합한 버전 선택하기
A4H 및 A3P 펌프 모델은 부식성 화학 반응이 없거나 적은 모든 공정에 적합합니다. 이러한 펌프 모델은 또한 니켈 코팅 버전(X 및 XN)에도 존재하지만, H 및 P 버전은 비용을 절감하면서 중간 부하 응용 분야에서 운영할 수 있습니다.

이점

  • 낮은 운영 비용
  • 다단계 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용 덕분에 에너지 효율이 높음
  • 작은 설치 면적
  • 경량으로 조립이 용이함
  • 중간 부하 응용 분야에서 신뢰성이 높음
  • 반도체 생산에 대한 요구사항에서 사용할 수 있음
  • 높은 입자 허용치로 공구 가동 시간을 늘림
  • 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, 주입, PVD, ...)
  • 광전지
소셜 네트워크