A3P 시리즈

A3P 시리즈

A3P 시리즈 건식 펌프가 운영 비용을 절감했습니다

중간 부하 공정에 사용되는 에너지 효율이 높은 고급 기술
A3P 시리즈의 펌프를 가지고, 파이퍼 베큠은 운영 비용을 대폭 절감함으로써 다른 제품과 차별화되는 세 가지 모델로 구성된 펌프 시리즈를 제공합니다. 이전의 펌프 기술과 비교할 때, 최대 50%까지 에너지 절감이 가능합니다. 이 펌프는 공정 안정성을 위해 최신 지식을 통합했습니다. 이 밖에 컴팩트한 구조로 공간을 절약할 수 있습니다.

장점

  • 낮은 운영 비용
  • 작은 설치 면적
  • 경량으로 조립이 용이함
  • 중간 부하 응용 분야에서 신뢰성이 높음
  • 반도체 생산에 대한 요구사항에서 사용할 수 있음

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, 주입, PVD, ...)
  • 광전지

반도체 산업용 건식 펌프
A3P 시리즈의 건식 펌프는 성능이 입증된 다단계 루츠 기술에 기반했습니다. 펌프의 내부는 부식성 기체에 대한 저항성이 있습니다. 이러한 이유 때문에, 이 펌프는 중간 부하 공정에서 신뢰성이 높습니다. 이 시리즈에서 제공되는 세 가지 모델은 펌프 속도가 광범위하고, 이로써 반도체 산업에서 중간 부하 진공 펌프의 대부분 요구조건을 충족합니다. A3P 시리즈는 클린룸에서의 작업에 적합하고, CE 및 Semi S2 표준을 준수합니다.

중간 부하 공정에서 높은 신뢰성을 제공하도록 설계됨
건식 펌프는 중간 부하 공정에 대한 높은 신뢰성으로 다른 제품과 차별화됩니다. 이 시리즈의 펌프에는 온도 센서와 불활성 기체 플러싱이 있습니다. 낮은 잡음 방출과 낮은 진동 수준이 A3P의 추가적인 특성입니다.

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