A4H 시리즈

A4H 시리즈

A4H 시리즈의 건식 펌프는 중간 부하의 반도체 및 코팅 응용 분야에 사용됩니다.
반도체 및 코팅 생산의 중간 부하 공정에서는 항상 진공 기능과 진공 펌프를 위한 강력한 설계가 필요했습니다. 성능이 입증되고 에너지 효율적인 다단계 루츠 기술에 기반한 A4 시리즈는 100 ~ 3,000 m3/h 범위의 다양한 펌프 속도로 일곱 가지의 광범위한 건식 펌프 솔루션을 제공합니다. A4H 시리즈는 이전 시리즈와 완전히 호환됩니다. 사용 가능한 제품들: 파이퍼 베큠은 일반 응용 분야 전용으로 세 가지 펌프 모델(A 124 H, A 604 H, A 1204 H)을, 그리고 비교적 까다로운 응용 분야용으로 다섯 가지 다른 모델(A 204 H, A 804 H, A 1504 H, A 1804 H 및 A 3004 H)을 제공합니다.

장점

  • 다단계 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용 덕분에 에너지 효율이 높음
  • 광범위한 작동 온도 범위로 펌프의 균열이나 응축물의 퇴적을 방지함
  • 높은 고장간 평균 시간 및 낮은 소유 비용
  • 높은 입자 허용치로 공구 가동 시간을 늘림
  • 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능
  • Semi S2-0712 및 UL 61010 준수

응용 분야

  • 반도체 산업(식각, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • 코팅 산업: 광전지 및 LED

까다로운 공정에 최적합한 솔루션
기체 처리량이 높고 입자 허용치가 개선된 A4H 시리즈의 건식 펌프는 반도체 및 코팅 산업의 까다로운 공정에 최적화된 펌프입니다. 이 펌프에는 낮은 작동 온도와 높은 작동 온도를 모두 처리하는 확장된 온도 관리 시스템이 탑재되어 펌핑 단계에서 부산물 형성이나 파손을 방지합니다. 고온 정밀 베어링을 사용함으로써 공정 신뢰성을 높였습니다. 이 펌프는 Semi S2 및 UL 61010 표준을 준수합니다.

A4H 시리즈: CVD 공정에서 에너지 효율이 가장 높은 솔루션
다단계 루츠 기술과 고효율 모터 덕분에, A4 시리즈는 공정 운용 시 전력 소비량이 매우 낮은 게 특징입니다. 유휴 모드 기능과 사용자 친화적인 회전 속도 조정 기능이 결합되어, 이 건식 펌프 사용 시 운용 비용을 최적으로 절약할 수 있습니다.

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