A4H 시리즈

A4H 시리즈의 건식 펌프는 반도체 및 코팅의 거친 공정에 사용됩니다.
반도체 및 코팅 생산에서 거친 부하 공정은 언제나 진공 펌프에 대한 새로운 과제를 제기합니다. 품질이 입증되고 에너지 효율적인 멀티 스테이지 루츠 기술에 기초한 A4H 시리즈는 펌프 속도가 100 ~ 1,800 m3/h로 광범위한 7가지 건식 펌프 솔루션을 제공합니다. A4H 시리즈는 이전 시리즈와 완전히 호환됩니다. 다음과 같이 선택할 수 있습니다. 파이퍼 베큠은 일반적인 공정용 세 가지 펌프 모델과 비교적 까다로운 공정용 네 가지 다른 모델을 제공합니다.

장점

  • 멀티 스테이지 루츠 기술, 고효율 모터, 전기 히터의 제한적 사용으로 인한 높은 에너지 효율
  • 광범위한 작동 온도로 이전 시리즈에서 볼 수 있던 파손이나 응축 가능한 퇴적 방지
  • 긴 MTBF 및 낮은 소유 비용
  • 공구 가동시간을 높여주는 높은 입자 허용치
  • 펌프 작동 조건의 정확한 제어를 위해 확장된 모니터링 기능 및 유휴 모드 기능
  • Semi S2-0712 및 UL 61010 준수

 

응용 분야

  • 반도체 산업(Etch, PECVD, SACVD, ALD, ...)
  • 코팅 산업 광전지 및 LED

 

매우 까다로운 공정에 최적화된 솔루션
기체 처리량이 높고 입자 허용치가 개선된 A4H 시리즈의 건식 펌프는 반도체 및 코팅 산업의 까다로운 공정에 최적화된 펌프입니다. 이 펌프에는 낮은 작동 온도와 높은 작동 온도를 모두 처리하는 확장된 온도 관리 시스템이 탑재되어 펌핑 단계에서 부산물 형성이나 파손을 방지합니다. 고온에서도 정밀도를 유지하는 베어링을 채택함으로써 공정 신뢰성을 높여줍니다. 이 펌프는 Semi S2 및 UL 61010 표준을 준수합니다.
 

A4H 시리즈: 에너지 효율이 매우 높은 CVD 공정용 솔루션
멀티 스테이지 루츠 기술과 고효율 모터 덕분에, A4 시리즈는 공정 운용 시 전력 소비량이 매우 낮은 게 특징입니다. 유휴 모드 기능과 사용자 친화적인 회전 속도 조정 기능이 결합되어, 이 건식 펌프 사용 시 운용 비용을 최적으로 절약할 수 있습니다.

이 페이지를 어떻게 평가하십니까?
 

이 페이지를 권장함!
소셜 네트워크

이 웹 사이트는 당신이 우리의 웹 사이트에서 최고의 경험을 얻을 수 있도록 하기 위하여 쿠키를 사용합니다. 더 많은 정보