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다단계 루츠 펌프 - ADH 시리즈

ADH 시리즈

최신 공정 응용 분야용 신제품 고성능 건식 펌프

최저의 운영 비용으로 제공하는 최고의 H2 펌프 속도
ADH 시리즈의 최대 이점 중 하나는 높은 수소 펌프 속도로서 공정 단계 사이에서 챔버를 가장 빠르게 배기시킬 수 있습니다. 동시에 유량률 허용치가 높기 때문에 ADH 펌프는 공정 사양이 매우 까다로운 응용 분야에도 적합합니다. 최적화된 설계 덕분에 이 시리즈의 펌프는 전력 소비를 최대로 낮추면서도 이와 같은 수준의 배기 성능을 유지합니다.
 

중간에 정비가 필요하지 않음
모든 베어링이 오일로 윤활되기 때문에 현장에서 별도의 정비가 필요하지 않습니다. 파우더, 가루 허용치, 응축 관리 및 유휴 모드의 개선으로 운용 비용을 절감했습니다.
 

공정 부산물에 대한 높은 저항성
이 펌프에는 이중 온도 제어 수냉식 회로가 장착되어 있고 뜨거운 N2 퍼지를 통합하여 파우더의 누적이나 농축을 방지합니다. 강력한 모터가 심한 파우더 하중을 처리하고 양호한 재시동 기능을 보장합니다. 완전히 새로워진 모니터링 시스템으로 업그레이드된 ADH 시리즈의 기능으로 공정상 신뢰성을 높였습니다.
 

견고하고 안전함
ADH 시리즈는 설계와 재질을 통해 내부 압력으로 인한 커다란 정적 및 동적 응력을 처리할 수 있습니다. 이로써 수소나 실란과 같은 폭발성 기체를 사용하는 응용 분야에서 최고 수준의 안전을 보장합니다.

이점

  • N2와 H2에서 성능을 그대로 유지하면서 최대 4,500 m3/h 펌프 속도를 발휘합니다.
  • 50 및 60 Hz 전원 공급에서 동일한 성능을 제공합니다.
  • 낮은 전력 및 물 소비량으로 인한 낮은 운영 비용
  • 높은 파우더 이송 용량
  • 베어링이 윤활되고 공정 부산물에 대한 저항성이 높기 때문에 길어진 정비 주기
  • 내부의 정적 및 동적 응력에 대한 탁월한 저항성 때문에 강화된 안전

응용 분야

  • 반도체(ALD, 에피택시 및 EUV)
  • 평판 디스플레이(FPD)
  • 태양 전지(a-Si와 μ-Si PECVD)
  • LED(MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)
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