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경부하 응용 분야용 다 스테이지 루츠 펌프

경부하 공정에서는 청정하고 건조한 진공이 필요합니다. 파이퍼 베큠의 다 스테이지 루츠 펌프는 산업 응용 분야와 연구개발에 이상적인 솔루션입니다.
 

경부하 공정에 사용되는 건식 펌프.
건식 다 스테이지 루츠 펌프의 입증된 기술에 기초하여, 파이퍼 베큠은 경부하 공정에 사용되는 광범위한 고출력 펌프를 제공합니다. 이 응용 분야에 사용되는 펌프의 가장 중요한 특징은 높은 펌프 속도와 견고성, 높은 신뢰성입니다.
 

ACP 시리즈의 기냉식 다 스테이지 루츠 펌프.
ACP 시리즈의 다 스테이지 루츠 펌프는 대기압에서 3 · 10-2 hPa까지의 압력 범위에서 사용되는 무유 및 무입자 응용 분야용 펌프입니다. 기냉식 펌프는 잔류 기체 분석 시스템, 전자 현미경 또는 UHV 시스템에서 사용할 때 회전 날개 펌프를 최적으로 대체할 수 있는 펌프입니다. 이 펌프는 터보분자 펌프에 사용되는 러핑 펌프로서 이상적입니다. 특별하게 개발된 G 버전의 펌프는 소량의 부식성 기체를 운반하도록 설계되었습니다. ACP 시리즈의 이 버전은 이송 챔버, 공정 모니터링 시스템, 이온 빔 응용 분야에 권장됩니다. 기냉식 ACP 시리즈의 CV 버전의 수증기 용량은 시간당 최대 1,000 그램입니다. 이 버전은 펌프 블록에서 증기 응축을 피하도록 설계되었습니다.
 

산업 응용 분야용 ACP 120 및 ACG 600.
전세계에 걸쳐 설치된 수만 대의 반도체 공정 펌프를 보면, ACP 120은 산업 응용 분야에서도 다 스테이지 루츠 펌프의 이점을 제공합니다. 수냉식 펌프는 경부하 응용 분야용 표준 버전은 물론 부식성이 약간 있는 공정이나 응축 가능한 펌핑 다운 매질에서 정화 가체 버전으로 사용할 수 있습니다. ACP 120은 루츠 펌프가 장착된 다른 펌핑 스테이션에 결합할 수 있습니다. 루츠 펌핑 스테이션 ACG 600은 장식 또는 공구 코팅에서 진공 솔루션으로서 윤활제를 전혀 사용하지 않는 펌핑 시스템의 기초로 사용할 수 있습니다.
 

컴팩트한 건식 펌프: A 100 L.
컴팩트한 건식 펌프 A 100 L은 비용을 절감하면서 반도체 생산 시스템에 통합하도록 개발되었습니다. 다 스테이지 루츠 펌프는 클린룸에서 사용하기에 적합하고, 펌프 속도가 상당히 높은 외부 펌프를 대체할 수 있습니다. 대기 모드에서 속도를 다양하게 조정할 수 있기 때문에, 컴팩트한 건식 펌프 A 100 L의 전력 소비를 추가적으로 낮출 수 있습니다.

응용 분야

  • 부하 락
  • 이송 챔버
  • 스퍼터링
  • PVD
  • 계측학
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