펌핑 속도 |
12.1 m³/h | 7.12 cfm | 201.67 l/min |
일반적인 도달 압력 |
9 · 10-3 hPa | 6.75 · 10-3 Torr | 9 · 10-3 mbar |
가스 밸러스트 단계 1에서 일반적인 도달 압력 |
5 · 10-2 hPa | 3.75 · 10-2 Torr | 5 · 10-2 mbar |
가스 밸러스트 단계 2에서 일반적인 도달 압력 |
4 · 10-1 hPa | 3 · 10-1 Torr | 4 · 10-1 mbar |
가스 밸러스트 유량 레벨 1 |
18 l/min |
가스 밸러스트 유량 레벨 2 |
30 l/min |
리크율 |
5 · 10-7 Pa m3/s | 3.75 · 10-6 Torr l/s | 5 · 10-6 mbar l/s |
최대 인입 압력 |
1,100 hPa | 825 Torr | 1,100 mbar |
배기 압력, 최대 |
1,500 hPa | 1,125 Torr | 1,500 mbar |
플랜지(입력) |
DN 25 ISO-KF |
플랜지(출력) |
DN 25 ISO-KF |
I/O 인터페이스 |
RS-485 |
본선 연결 |
100 — 127/200 — 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
입력 (공급) 정격 전류 xHz |
100 V – 127 V: 8 A 200 V – 240 V: 4 A |