5축 자기 부상 터보 펌프

5축 자기 부상 터보 펌프

N2 펌핑 속도가 최대 1,400 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • 통합형 OBC 전자 드라이브 유닛 또는 외부 Magpower 전자 드라이브 유닛으로 작동
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 가열형 버전(MT)은 부식성 응용 분야에 사용 가능
  • ATH-M은 반도체 및 코팅 산업을 위한 컴팩트 터보 분자 펌프입니다. DN200 및 DN250 플랜지 크기를 사용하는 수월한 공정과 혹독한 공정을 위해 전 세계적으로 널리 설치되었습니다.
N2 펌핑 속도가 최대 2,150 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • 통합형 OBC 전자 드라이브 유닛 또는 외부 Magpower 전자 드라이브 유닛으로 작동
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 가열형 버전(MT)은 부식성 응용 분야에 사용 가능
  • ATH-M 중형 터보 분자 펌프는 반도체 및 코팅 산업에서 전 세계적으로 사용됩니다. DN200 및 DN250 플랜지 크기를 사용하는 수월한 공정과 혹독한 공정을 위해 전 세계적으로 널리 설치되었습니다.
5축 자기 부상식, N2 최대 펌핑 속도가 2,050 l/s인 순수 터보 펌프(Holweck 단계 없음)
  • 통합형 OBC 전자 드라이브 유닛 또는 외부 Magpower 전자 드라이브 유닛으로 작동
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 특히 경량 가스를 사용하는 응용 분야를 위해 설계
N2 펌핑 속도가 최대 2,350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • 소형 펌프 통합 컨트롤러로 작동
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 가열형 버전(MT)은 부식성 응용 분야에 사용 가능
  • ATH-M 대형 터보 분자 펌프는 DN250 플랜지 크기에 대한 오랜 경험을 바탕으로 실리콘 기반의 산업 응용 분야에 사용되고 있습니다.
N2 펌핑 속도가 최대 3,050 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • 통합형 드라이브 전자 장치로 작동
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 가열형 버전(MT)은 부식성 응용 분야에 사용 가능
  • ATH-M 대형 터보 분자 펌프는 DN320 플랜지 크기에 대한 오랜 경험을 바탕으로 실리콘 기반의 산업 응용 분야에 사용되고 있습니다.
5축 자기 부상식, N2 최대 펌핑 속도가 2,050 l/s인 순수 터보 펌프(Holweck 단계 없음)
N2 펌핑 속도가 최대 550 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • 컴팩트한 통합형 드라이브 전자 장치
  • 모든 방향에서 설치
  • 수냉식 또는 공냉식
  • CE 마크 및 ROHS 적합
  • 가열형 버전(MT)은 부식성 응용 분야에 사용 가능
  • 통합형 전자 컨트롤러를 갖춘 대부분의 컴팩트한 자기 부상 펌프는 DN100 및 DN160 유입구 플랜지를 제공합니다.
여기서 ATH M 및 ATP M 시리즈의 터보 펌프용 액세서리와 드라이브 전자장치에 대한 정보를 볼 수 있습니다.

자기 부상 터보 펌프 전자기

베어링은 회전자 위치가 지속적으로 모니터되고 그에 따라 조정되기 때문에 '활발하고 자기적으로 부상된'이라고도 불립니다. 이것은 마모가 없고, 자동 불균형 보상으로 저진동 작동을 가능하게 해줍니다. 지속적인 회전자 안정성이 보장됩니다. 이 베어링들은 정비와 윤활유가 필요치 않습니다.

5축 자기 부상 터보 펌프

앞서가는 성능

최고의 펌프 속도, 압축비 및 가스 처리량 또는 최소 진동은 진공 펌프에 대해 고객이 요구하는 고전적인 매개변수입니다. 이 시리즈의 모든 5축 자기부상 펌프는 데이터상 전문 분야에서 뛰어난 성능을 보이고 있습니다. 이 펌프는 분석과 연구 개발의 비부식 응용 분야뿐만 아니라 반응성이 높은 코팅 및 반도체 산업의 공정에서 비 부식 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.

안전성

유지 보수가 필요없는 당사의 자기부상 터보 펌프에는 고품질 안전 베어링만 설치되어 안전한 작동을 보장합니다. 보호 등급이 IP 54인 HiPace의 경우 아무리 까다로운 환경 조건에서 사용하더라도 아무런 문제가 없습니다. 이밖에 ISO 27892에 의거한 제품 테스트 결과 모든 펌프가 최고의 안전 요구 사항을 충족합니다.

신뢰성

ATH M 및 ATP* M 시리즈의 당사 터보 펌프는 단순히 자기부상 방식으로 작동할 뿐만 아니라 액티브 5축 자기 베어링이 로터의 위치를 모니터링하고 실시간으로 설정 위치로부터의 편차를 제어합니다. 이러한 고품질의 베어링 기술을 통해 당사는 작동 시 저소음과 함께 가능한 최장 기간 동안 안정성과 신뢰성을 유지할 수 있습니다. 고진공 펌프의 베어링 기술 및 공정 설비로 인해 당사의 ATH M 및 ATP M 시리즈는 반도체 생산, 코팅 및 건식 부식 플라즈마 공정뿐만 아니라 많은 산업 및 연구 개발 응용 분야에서 고성능 터보 펌프의 표준으로 자리잡았습니다.

* ATP = no Holweck stage

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