I/O 인터페이스 |
Remote |
Mains frequency compatibility |
50 Hz 60 Hz |
가스 처리량 - Ar |
20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s |
가스 처리량 - H2 |
> 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
가스 처리량 - He |
> 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
가스 처리량 - N2 |
67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
냉각 방법 |
물 |
냉각수 온도 |
15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
냉각수 유량 |
60 l/h |
대기 모드에서의 회전 속도 |
15,000-39,000 rpm | 15,000-39,000 min-1 |
런업 시간 |
< 6 min |
무게 |
42 kg | 92.59 lb |
베어링 |
자기 부상식 |
베이크아웃 온도 |
≤ 120 °C | ≤ 248 °F | ≤ 393 K |
보호 등급 |
IP42 |
압축률 - Ar |
> 1 · 108 |
압축률 - H2 |
> 5 · 102 |
압축률 - He |
> 4 · 104 |
압축률 - N2 |
> 1 · 108 |
운용 위치 |
실내, 내후성 |
음압 레벨 |
< 48 dB(A) |
일반 진동 트레인(유입구 플랜지 10–1000 Hz) |
0.01 µm |
입력 전압 |
200 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz |