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P6562103
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ATH 1600 MT, DN 200 ISO-F, 외부 드라이브 전자장치, 수냉식, 가열형
주문 번호: P6562103

  • N2 펌핑 속도가 최대 1,360 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 200 ISO-F 연결 플랜지
  • Magpower 외부 드라이브 전자장치를 사용한 작동
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • 수냉식, 가열형
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
Ar아르곤의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s
Ar 압축비 > 1 · 108
Ar펌핑스피드 1280 l/s
H2 압축비 > 5 · 102
H2에 대한 기체 처리량 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
H2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s
H2 펌핑스피드 540 l/s
He 압축비 > 4 · 103
He 펌핑스피드 940 l/s
I/O 인터페이스 외부 구동 전자 장치 경유
N2 압축비 > 1 · 108
N2에 대한 기체 처리량 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s
N2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar
N2 펌핑스피드 1360 l/s
개별 전기구동장치
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar
냉각 방식
냉각수 소비량 60 l/h
냉각수 소비 최대 60 l/h
냉각수 온도 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K
동작 전압 200 – 240 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC
런타임 < 6 min
무게 34 kg | 74.96 lb
베어링 자기 부상식
부식성 기체 버전
아르곤에 대한 기체 처리량 20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s
음압 레벨 ≤48 dB(A)
입자 유입
장착 방향 임의
전력 소비 최대 650 W
전자 드라이브 유닛 외부 드라이브 전자장치
최종 압력 < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar
최종 압력에서의 입력 전력 300 W
플랜지(입력) DN 200 ISO-F
플랜지(출력) DN 40 ISO-KF
헬륨에 대한 기체 처리량 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
회전 속도 ± 2 % 39,000 rpm | 39,000 min-1

치수-TIM-RS

H
316.9 mm

Characteristic-TIM-RS-1

Characteristic-TIM-RS-2

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