| I/O 인터페이스 | 외부 드라이브 전자 장치를 통해 |
| 가스 처리량 - Ar | 20.3 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - H2 | > 67.6 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - He | > 67.6 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - N2 | 67.6 hPa·l/s |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 런업 시간 | < 6 min |
| 무게 | 42 kg | 92.59 lb |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 부식성 가스 버전 | 예 |
| 압축률 - Ar | > 1 · 108 |
| 압축률 - H2 | > 5 · 102 |
| 압축률 - He | > 4 · 103 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 108 |
| 음압 레벨 | ≤48 dB(A) |
| 입력 전압 | 200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
| 입자 흡입 | 예 |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비량, 최종 압력 | 300 W |
| 전원 공급장치 팩 위치 | 외부형 전원 공급장치 팩 |
| 전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 외부 전자 드라이브 유닛 - 불포함 |
| 전진공 최대 - N2 | 2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar |
| 최대 전력 소비 | 650 W |
| 최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 75°C 가열 펌프 | 8.5 hPa·l/s |
| 최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 75°C 가열 펌프 | > 16.9 hPa·l/s |
| 최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 75°C 가열 펌프 | 16.9 hPa·l/s |
| 최종 압력 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 펌핑 속도 - Ar | 1350 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 540 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 970 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 1400 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 250 CF-F |
| 플랜지(출력) | DN 40 ISO-KF |
| 회전 속도 ±2% | 39,000 rpm | 39,000 min-1 |
| 물 유입 밸브 24 V DC | 108668 |
| 밀봉 가스 밸브, 50 sccm | 111921S |
| 먼지 필터 | 106229 |
| DN 250 - M 5용 스테인레스 유입구 필터 | 108762 | |
| DN 250용 알루미늄 유입구 필터 | 111640 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
| CF-F용 나사 세트(ATH 1600 M, DN 250용) | 111665 |
| Magpower 제어기 | 128733 |
| 전원 코드 2.5 m 유럽 표준 200–240 V AC | A328405 | |
| 본선 케이블 2.5 m 미국 표준 200–240 V AC | A331729 |
| 회전 플랜지 DN 250 CF-F | 303133 |
| 공기 배기 밸브(OBC V4 및 Magpower용) | 114280 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-12-05 | ~ 617.1 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
