입자 흡입 |
예 |
장착 방향 |
임의 |
전력 소비량, 최종 압력 |
300 W |
전원 공급장치 팩 위치 |
외부형 전원 공급장치 팩 |
전자 드라이브 유닛 설치 유형 |
외부 전자 드라이브 유닛 - 불포함 |
전진공 최대 - N2 |
2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar |
최대 전력 소비 |
650 W |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 75°C 가열 펌프 |
8.5 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 75°C 가열 펌프 |
> 16.9 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 75°C 가열 펌프 |
16.9 hPa·l/s |
최종 압력 |
< 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
펌핑 속도 - Ar |
1350 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
540 l/s |
펌핑 속도 - He |
970 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
1400 l/s |
플랜지(입력) |
DN 250 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 40 ISO-KF |
회전 속도 ±2% |
39,000 rpm | 39,000 min-1 |