장착 방향 |
임의 |
전력 소비량, 최종 압력 |
350 W |
전자 드라이브 유닛 |
외부 드라이브 전자장치 |
전진공 최대 - N2 |
2.8 hPa | 2.1 Torr | 2.8 mbar |
최대 냉각수 유량 |
60 l/h |
최대 전력 소비 |
1000 W |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 75°C 가열 펌프 |
8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 75°C 가열 펌프 |
> 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 75°C 가열 펌프 |
16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s |
최소 냉각수 유량 |
60 l/h |
최종 압력 |
< 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
최종 압력, 가스 밸러스트 미사용 |
< 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
펌핑 속도 - Ar |
2000 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
1100 l/s |
펌핑 속도 - He |
1800 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
2150 l/s |
플랜지(입력) |
DN 250 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 40 ISO-KF |
회전 속도 ±2% |
31,000 rpm | 31,000 min-1 |