| Ar아르곤의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 | 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s |
| Ar 압축비 | > 1 · 108 |
| Ar펌핑스피드 | 2000 l/s |
| H2 압축비 | > 2 · 103 |
| H2에 대한 기체 처리량 | > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
| H2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 | > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s |
| H2 펌핑스피드 | 1100 l/s |
| He 압축비 | > 3 · 104 |
| He 펌핑스피드 | 1800 l/s |
| I/O 인터페이스 | 외부 구동 전자 장치 경유 |
| N2 압축비 | > 1 · 108 |
| N2에 대한 기체 처리량 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
| N2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 | 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s |
| N2 최대 1차 진공 | 2.8 hPa | 2.1 Torr | 2.8 mbar |
| N2 펌핑스피드 | 2150 l/s |
| 개별 전기구동장치 | 예 |
| 기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 냉각 방식 | 물 |
| 냉각수 소비량 | 60 l/h |
| 냉각수 소비 최대 | 60 l/h |
| 냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 동작 전압 | 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
| 런타임 | < 8 min |
| 무게 | 60 kg | 132.28 lb |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 부식성 기체 버전 | 예 |
| 아르곤에 대한 기체 처리량 | 25.4 hPa l/s | 19.05 Torr l/s | 25.4 mbar l/s |
| 음압 레벨 | ≤47 dB(A) |
| 입자 유입 | 예 |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비 최대 | 1000 W |
| 전자 드라이브 유닛 | 외부 드라이브 전자장치 |
| 최종 압력 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 최종 압력에서의 입력 전력 | 350 W |
| 플랜지(입력) | DN 250 CF-F |
| 플랜지(출력) | DN 40 ISO-KF |
| 헬륨에 대한 기체 처리량 | > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s |
| 회전 속도 ± 2 % | 31,000 rpm | 31,000 min-1 |
| 물 유입 밸브 24 V DC | 108668 |
| 밀봉 기체 밸브 50 sccm | 111921S |
| 먼지 필터 | 106229 |
| DN 250 - M 5용 스테인레스 유입구 필터 | 108762 | |
| DN 250용 알루미늄 유입구 필터 | 111640 |
| CF-F(ATH 500 M, DN100/160 | ATH 2300 M, DN 200/250)용 나사 세트 | 118690 |
| Magpower 제어기 | 128733 |
| 전원 코드 2.5 m 유럽 표준 200–240 V AC | A328405 | |
| 본선 케이블 2.5 m 미국 표준 200–240 V AC | A331729 |
| 회전 플랜지 DN 250 CF-F | 303133 |
| 공기 배기 밸브(OBC V4 및 Magpower용) | 114280 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2021-11-30 | ~ 652.1 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
