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TMAAA664015A
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ATH 2804 M, DN 250 ISO-F, 수냉, 비가열형, 통합 구동 전자 장치 포함
주문 번호: TMAAA664015A

  • N2 펌핑 속도가 최대 2,350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 250 ISO-F 연결 플랜지
  • 컴팩트한 통합형 드라이브 전자장치
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • 수냉식, 비가열형
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
360-1-Cooling water flow, min 60 l/h
Ar 압축비 > 1 · 109
Ar펌핑스피드 2350 l/s
H2 압축비 4.9 · 103
H2에 대한 기체 처리량 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
H2 펌핑스피드 1650 l/s
He 압축비 9 · 104
He 펌핑스피드 2300 l/s
I/O 인터페이스 원격
N2 밀봉 기체 유량, 최소 0.05 slpm (0 °C)
N2 압축비 > 1 · 109
N2에 대한 기체 처리량 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar
N2 펌핑스피드 2350 l/s
개별 전기구동장치 아니오
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
냉각수 소비량 60 l/h
냉각수 압력 최대 60 l/h
냉각수 온도 15-40 °C | 59-104 °F | 288-313 K
냉각 유형
냉각 유형, 표준
대기 모드에서의 회전 속도 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1
대표적인 진동 거리(유입구 플랜지에서 10-1000 Hz) 0.01 µm
런타임 < 8 min
모터 타입 1-상 모터
베어링 자기 부상식
베이크-아웃 온도 최대. 90 °C | 194 °F | 363 K
보호 범주 IP54
아르곤에 대한 기체 처리량 42.2 hPa l/s | 31.65 Torr l/s | 42.2 mbar l/s
아르곤에 대한 최대 전진공 4.4 hPa | 3.3 Torr | 4.4 mbar
연결 플랜지(입력) DN 250 ISO-F
연결 플랜지(출력) DN 40/50 ISO-KF
음압 레벨 <45 dB(A)
장착 방향 임의
전력 소비 최대 1200 W
전자 드라이브 유닛 외부 드라이브 전자장치
최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
최종 압력에서의 입력 전력 160 W
헬륨에 대한 기체 처리량 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
회전 속도 ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1

치수 도면 TIM-RS

D
335 mm
H
347 mm
P
471 mm

Characteristic-TIM-RS-1

Characteristic-TIM-RS-2

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2019-07-18 ~ 766.8 KB
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