| 360-Cooling water flow, min | 60 l/h |
| Ar 압축비 | > 1 · 109 |
| Ar펌핑스피드 | 2350 l/s |
| H2 압축비 | 4.9 · 104 |
| H2 펌핑스피드 | 1650 l/s |
| He 압축비 | 9 · 104 |
| He 펌핑스피드 | 2300 l/s |
| N2 압축비 | > 1 · 109 |
| N2에 대한 기체 처리량 | 83.3 hPa l/s | 62.48 Torr l/s | 83.3 mbar l/s |
| N2 최대 1차 진공 | 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar |
| N2 펌핑스피드 | 2350 l/s |
| 개별 전기구동장치 | 아니오 |
| 냉각 방식 | 물 |
| 냉각수 소비량 | 60 l/h |
| 냉각수 압력 최대 | 60 l/h |
| 냉각수 온도 | 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K |
| 런타임 | < 8 min |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 아르곤에 대한 기체 처리량 | 41.6 hPa l/s | 31.2 Torr l/s | 41.6 mbar l/s |
| 연결 플랜지(입력) | DN 250 ISO-F |
| 연결 플랜지(출력) | DN 40/50 ISO-KF |
| 음압 레벨 | ≤ 45 dB(A) |
| 인터페이스 | 원격 |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전기구동장치 | 외부 드라이브 전자장치 |
| 중량 | 98 kg | 216.05 lb |
| 최종 압력 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 최종 압력에서의 입력 전력 | < 160 W |
| 회전 속도 | max. 25,000 rpm | max. 25,000 min-1 |
| DN 250 - M 8용 스테인레스 유입구 필터 | 121607 | |
| DN 250용 알루미늄 유입구 필터 | 123537 |
| 센터링 링을 갖춘 ISO-F(ATH 500 M, DN160 | ATH 1600 M, DN 200/250 | ATH 2300 M, ATH 2800 M, ATH 2804 M, DN 250)용 나사 세트 | 110676S |
| 케이블을 갖춘 휴대형 원격 (HHR) | 114461 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2019-03-16 | ~ 766.7 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
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