| Ar 압축비 | > 1 · 109 |
| Ar펌핑스피드 | 2350 l/s |
| H2 압축비 | 4.9 · 103 |
| H2에 대한 기체 처리량 | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| H2 펌핑스피드 | 1650 l/s |
| He 압축비 | 9 · 104 |
| He 펌핑스피드 | 2300 l/s |
| I/O 인터페이스 | 원격 |
| N2 밀봉 기체 유량, 최소 | 0.05 slpm (0 °C) |
| N2 압축비 | > 1 · 109 |
| N2에 대한 기체 처리량 | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| N2 최대 1차 진공 | 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar |
| N2 펌핑스피드 | 2350 l/s |
| 개별 전기구동장치 | 아니오 |
| 기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 냉각수 소비량 | 60 l/h |
| 냉각수 소비 최대 | 60 l/h |
| 냉각수 온도 | 15-40 °C | 59-104 °F | 288-313 K |
| 냉각 유형 | 물 |
| 냉각 유형, 표준 | 물 |
| 대기 모드에서의 회전 속도 | 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1 |
| 대표적인 진동 거리(유입구 플랜지에서 10–1000 Hz) | 0.01 µm |
| 런타임 | < 8 min |
| 모터 타입 | 1-상 모터 |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 베이크-아웃 온도 최대. | 90 °C | 194 °F | 363 K |
| 보호 등급 | IP54 |
| 아르곤에 대한 기체 처리량 | 42.2 hPa l/s | 31.65 Torr l/s | 42.2 mbar l/s |
| 아르곤에 대한 최대 전진공 | 4.4 hPa | 3.3 Torr | 4.4 mbar |
| 음압 레벨 | <45 dB(A) |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비 최대 | 1200 W |
| 전자 드라이브 유닛 | 외부 드라이브 전자장치 |
| 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 최종 압력에서의 입력 전력 | 160 W |
| 플랜지(입력) | DN 250 ISO-F |
| 플랜지(출력) | DN 40/50 ISO-KF |
| 헬륨에 대한 기체 처리량 | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| 회전 속도 | ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1 |
| DN 250 - M 8용 스테인레스 유입구 필터 | 121607 | |
| DN 250용 알루미늄 유입구 필터 | 123537 |
| 센터링 링을 갖춘 ISO-F(ATH 500 M, DN160 | ATH 1600 M, DN 200/250 | ATH 2300 M, ATH 2800 M, ATH 2804 M, DN 250)용 나사 세트 | 110676S |
| 케이블을 갖춘 휴대형 원격 (HHR) | 114461 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2020-02-29 | ~ 766.4 KB | ||
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