대기 모드에서의 회전 속도 |
15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1 |
대표적인 진동 거리(유입구 플랜지에서 10–1000 Hz) |
0.01 µm |
런타임 |
< 8 min |
모터 타입 |
1상 모터 |
베어링 |
자기 부상식 |
베이크-아웃 온도 최대. |
90 °C | 194 °F | 363 K |
보호 등급 |
IP54 |
아르곤에 대한 기체 처리량 |
42.2 hPa l/s | 31.65 Torr l/s | 42.2 mbar l/s |
아르곤에 대한 최대 전진공 |
4.4 hPa | 3.3 Torr | 4.4 mbar |
음압 레벨 |
<45 dB(A) |
장착 방향 |
임의 |
전력 소비 최대 |
1200 W |
전자 드라이브 유닛 |
외부 드라이브 전자장치 |
최종 압력 |
< 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
최종 압력에서의 입력 전력 |
160 W |
플랜지(입력) |
DN 250 ISO-F |
플랜지(출력) |
DN 40/50 ISO-KF |
헬륨에 대한 기체 처리량 |
84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
회전 속도 |
≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1 |