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TMAAA664015A
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ATH 2804 M, DN 250 ISO-F, 수냉식, 비가열형, 통합 드라이브 전자 장치 포함
주문 번호: TMAAA664015A

  • N2 펌핑 속도가 최대 2,350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 250 ISO-F 연결 플랜지
  • 통합 구동 전자 장치
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • 수냉식, 비가열형
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
I/O 인터페이스 Remote
N2 밀봉 가스 유량 0.05 slpm (0 °C)
가스 처리량 - Ar 42.2 hPa l/s | 31.65 Torr l/s | 42.2 mbar l/s
가스 처리량 - H2 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
가스 처리량 - He 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
가스 처리량 - N2 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s
냉각 방법
냉각수 온도 15-40 °C | 59-104 °F | 288-313 K
냉각수 유량 60 l/h
대기 모드에서의 회전 속도 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1
런업 시간 < 8 min
모터 유형 1상 모터
베어링 자기 부상식
베이크아웃 온도 최대 90 °C | 최대 194 °F | 최대 363 K
별도의 전자 드라이브 유닛 아니오
보호 등급 IP54
압축률 - Ar > 1 · 109
압축률 - H2 4.9 · 103
압축률 - He 9 · 104
압축률 - N2 > 1 · 109
음압 레벨 <45 dB(A)
일반 진동 트레인(유입구 플랜지 10–1000 Hz) 0.01 µm
장착 방향 임의
전력 소비량, 최종 압력 160 W
전자 드라이브 유닛 외부 드라이브 전자장치
전진공 최대 - N2 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar
최대 냉각수 유량 60 l/h
최대 전력 소비 1200 W
최대 전진공 - Ar 4.4 hPa | 3.3 Torr | 4.4 mbar
최소 냉각수 유량 60 l/h
최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
최종 압력, 가스 밸러스트 미사용 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
펌핑 속도 - Ar 2350 l/s
펌핑 속도 - H2 1650 l/s
펌핑 속도 - He 2300 l/s
펌핑 속도 - N2 2350 l/s
플랜지(입력) DN 250 ISO-F
플랜지(출력) DN 40/50 ISO-KF
회전 속도 ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1

치수-TIM-RS

D
335 mm
H
347 mm
P
471 mm

Characteristic-TIM-RS-1

Characteristic-TIM-RS-2

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