| I/O 인터페이스 | Remote |
| Mains frequency compatibility | 50 Hz 60 Hz |
| N2 밀봉 가스 유량 | 0.05 slpm (0 °C) |
| 가스 처리량 - Ar | 42.2 hPa l/s | 31.65 Torr l/s | 42.2 mbar l/s |
| 가스 처리량 - H2 | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| 가스 처리량 - He | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| 가스 처리량 - N2 | 84.5 hPa l/s | 63.38 Torr l/s | 84.5 mbar l/s |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각수 온도 | 15-40 °C | 59-104 °F | 288-313 K |
| 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 대기 모드에서의 회전 속도 | 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1 |
| 런업 시간 | < 8 min |
| 모터 유형 | 1상 모터 |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 베이크아웃 온도 | ≤ 90 °C | ≤ 194 °F | ≤ 363 K |
| 보호 등급 | IP54 |
| 압축률 - Ar | > 1 · 109 |
| 압축률 - H2 | 4.9 · 103 |
| 압축률 - He | 9 · 104 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 109 |
| 음압 레벨 | < 45 dB(A) |
| 일반 진동 트레인(유입구 플랜지 10–1000 Hz) | 0.01 µm |
| 입력 전압 | 200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비량, 최종 압력 | 160 W |
| 전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 통합 전자 드라이브 유닛 |
| 전진공 최대 - N2 | 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar |
| 총 누출률 | < 5 · 10-8 hPa l/s | < 3.75 · 10-8 Torr l/s | < 5 · 10-8 mbar l/s |
| 최대 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 최대 전력 소비 | 1200 W |
| 최대 전진공 - Ar | 4.4 hPa | 3.3 Torr | 4.4 mbar |
| 최소 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 펌핑 속도 - Ar | 2350 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 1650 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 2300 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 2350 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 250 ISO-F |
| 플랜지(출력) | DN 40/50 ISO-KF |
| 회전 속도 | ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1 |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
| HV 게이트 밸브, DN 250 ISO-F, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/FKM | GVP-S12342 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
| ISO-F용 나사 세트(ATH 500 M, DN 160 | ATH 1600 M, DN 200/250 | ATH 2300 M, ATH 2800 M, ATH 2804 M, DN 250용), 센터링 링 포함 | 110676S |
| 케이블을 갖춘 휴대형 리모트(HHR) | 114461 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-06-01 | ~ 628.3 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
