| I/O 인터페이스 | Remote |
| N2 밀봉 가스 유량 | 0.05 slpm (0 °C) |
| 가스 처리량 - Ar | 25.3 hPa l/s | 18.98 Torr l/s | 25.3 mbar l/s |
| 가스 처리량 - N2 | 47.3 hPa l/s | 35.48 Torr l/s | 47.3 mbar l/s |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 대기 모드에서의 회전 속도 | 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1 |
| 런업 시간 | < 8 min |
| 모터 유형 | 1상 모터 |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 별도의 전자 드라이브 유닛 | 아니오 |
| 보호 등급 | IP54 |
| 스위치 포인트: 온도 | 55-85 °C | 131-185 °F | 328-358 K |
| 압축률 - Ar | > 1 · 109 |
| 압축률 - H2 | 4.9 · 103 |
| 압축률 - He | 9 · 104 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 109 |
| 음압 레벨 | <45 dB(A) |
| 일반 진동 트레인(유입구 플랜지 10–1000 Hz) | 0.01 µm |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비량, 최종 압력 | 590 W |
| 전자 드라이브 유닛 | 통합형 드라이브 전자장치 |
| 전진공 최대 - N2 | 3 hPa | 2.25 Torr | 3 mbar |
| 최대 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 최대 전력 소비 | 1200 W |
| 최대 전진공 - Ar | 3.7 hPa | 2.77 Torr | 3.7 mbar |
| 최소 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 펌핑 속도 - Ar | 2350 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 1650 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 2300 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 2350 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 250 ISO-F |
| 플랜지(출력) | DN 40/50 ISO-KF |
| 회전 속도 | ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1 |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
| HV 게이트 밸브, DN 250 ISO-F, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/FKM | GVP-S12342 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
| ISO-F용 나사 세트(ATH 500 M, DN160 | ATH 1600 M, DN 200/250 | ATH 2300 M, ATH 2800 M, ATH 2804 M, DN 250용), 센터링 링 포함 | 110676S |
| 케이블을 갖춘 휴대형 리모트(HHR) | 114461 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-02-03 | ~ 630.6 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
