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TMAAAC64015A
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ATH 3204 M, DN 320 ISO-F, 수냉식, 비가열형, 통합 드라이브 전자 장치 포함
주문 번호: TMAAAC64015A

  • N2 펌핑 속도가 최대 3,050 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 320 ISO-F 연결 플랜지
  • 통합 전자 드라이브 유닛
  • 모든 방향에서 설치
  • Remote, 수냉식, 가열
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
I/O 인터페이스 원격
N2 밀봉 가스 유량 0.05 slpm (0 °C)
가스 처리량 - Ar 42.2 hPa·l/s
가스 처리량 - H2 84.5 hPa·l/s
가스 처리량 - He 84.5 hPa·l/s
가스 처리량 - N2 84.5 hPa·l/s
냉각 방법
냉각수 온도 15-40 °C | 59-104 °F | 288-313 K
냉각수 유량 60 l/h
대기 모드에서의 회전 속도 15,000-25,000 rpm | 15,000-25,000 min-1
런업 시간 < 8 min
모터 유형 용 단상 펌프
밀봉 가스 연결부 DN 16 ISO-KF
베어링 자기 부상식
보호 등급 IP54
압축률 - Ar > 1 · 109
압축률 - H2 4.9 · 103
압축률 - He 9 · 104
압축률 - N2 > 1 · 109
음압 레벨 <45 dB(A)
일반 진동 트레인(유입구 플랜지 10–1000 Hz) 0.01 µm
입력 전압 200 – 240 V AC, 50/60 Hz  
장착 방향 임의
전력 소비량, 최종 압력 160 W
전자 드라이브 유닛 설치 유형 통합 전자 드라이브 유닛
전진공 최대 - N2 3.4 hPa | 2.55 Torr | 3.4 mbar
총 누출률 < 5 · 10-8 hPa·l/s
최대 베이크아웃 온도 ≤ 90 °C | ≤ 194 °F | ≤ 363 K
최대 전력 소비 1200 W
최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
펌핑 속도 6,120-10,980 m³/h | 3,602.23-6,462.83 cfm | 102,000-183,000 l/min
펌핑 속도 - Ar 2900 l/s
펌핑 속도 - H2 1700 l/s
펌핑 속도 - He 2500 l/s
펌핑 속도 - N2 3050 l/s
플랜지(입력) DN 320 ISO-F
플랜지(출력) DN 40 | 50 ISO-KF
회전 속도 ≥ 25,000 rpm | ≥ 25,000 min-1

치수-TIM-RS

D
425 mm
H
275 mm
P
400 mm

Characteristic-TIM-RS-1

Characteristic-TIM-RS-2

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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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