| I/O 인터페이스 | Profibus |
| 가스 처리량 - Ar | 42.3 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - H2 | > 169 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - He | > 169 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - N2 | 67.6 hPa·l/s |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 런업 시간 | < 2 min |
| 무게 | 17 kg | 37.48 lb |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 압축률 - Ar | > 8 · 106 |
| 압축률 - H2 | > 2 · 102 |
| 압축률 - He | > 1 · 104 |
| 압축률 - N2 | > 2 · 107 |
| 음압 레벨 | ≤42 dB(A) |
| 입력 전압 | 48 V DC (±5 %) |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비량, 최종 압력 | 100 W |
| 전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 통합 전자 드라이브 유닛 |
| 전진공 최대 - N2 | 2.6 hPa | 1.95 Torr | 2.6 mbar |
| 주전원 주파수 호환성 | 50 Hz 60 Hz |
| 최대 전력 소비 | 560 W |
| 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 펌핑 속도 - Ar | 320 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 170 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 310 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 350 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 100 ISO-F |
| 플랜지(출력) | DN 25 ISO-KF |
| 회전 속도 ±2% | 50,000 rpm | 50,000 min-1 |
| 공냉 장치 키트(ATH 500 M용) | 118543S |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
| DN 100용 스테인레스 유입구 필터 | 118001 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 25 ISO-KF | 120SWS025-1000 |
| 케이블을 갖춘 휴대형 리모트(HHR) | 114461 | |
| ATH 500 M/MT용 외부 전원 팩 | 114866 |
| 공기 배기 밸브(ATH 500 M용) | 200043 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-09-30 | ~ 584.7 KB | ||
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 작동 지침 ATH 500 M (114436OKO_08) | KO | 2021-07-12 | ~ 8 MB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
