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V2321100
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ATH 500 M, DN 100 CF-F, 원격, 공기 냉각, 비가열
주문 번호: V2321100

  • N2 펌핑 속도가 최대 350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 100 CF-F 연결 플랜지
  • 컴팩트한 통합형 드라이브 전자장치
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • Remote, 공냉식, 비가열형
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
Ar 압축비 > 8 · 106
Ar펌핑스피드 320 l/s
H2 압축비 > 2 · 102
H2에 대한 기체 처리량 > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s
H2 펌핑스피드 170 l/s
He 압축비 > 1 · 104
He 펌핑스피드 310 l/s
I/O 인터페이스 원격
N2 압축비 > 2 · 107
N2에 대한 기체 처리량 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 2.6 hPa | 1.95 Torr | 2.6 mbar
N2 펌핑스피드 350 l/s
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
냉각 방식 공기
동작 전압: V DC 48 (± 5 %) V DC
런타임 < 2 min
무게 17 kg | 37.48 lb
베어링 자기 부상식
아르곤에 대한 기체 처리량 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s
음압 레벨 ≤42 dB(A)
장착 방향 임의
전력 소비 최대 560 W
전자 드라이브 유닛 통합형 드라이브 전자장치
최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
최종 압력에서의 입력 전력 100 W
플랜지(입력) DN 100 CF-F
플랜지(출력) DN 25 ISO-KF
헬륨에 대한 기체 처리량 > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s
회전 속도 ± 2 % 50,000 rpm | 50,000 min-1

치수-TIM-RS

H
304.9 mm

Characteristic-TIM-RS-1

Characteristic-TIM-RS-2

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2022-01-28 ~ 584.6 KB
파일 타입 언어 날짜 파일용량
운영 지침 ATH 500 M (114436OKO_08) PDF KO 2021-07-12 ~ 8 MB
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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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