ATH 500 M, DN 100 CF-F, 원격, 공냉식, 비가열형
주문 번호: V2321100
- N2 펌핑 속도가 최대 350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
- DN 100 CF-F 연결 플랜지
- 컴팩트한 통합형 드라이브 전자장치
- 어느 위치에나 설치할 수 있음
- Remote, 공냉식, 비가열형
- CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
I/O 인터페이스 | Remote |
가스 처리량 - Ar | 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s |
가스 처리량 - H2 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
가스 처리량 - He | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
가스 처리량 - N2 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
냉각 방법 | 공기 |
동작 전압: V DC | 48 (± 5 %) V DC |
런업 시간 | < 2 min |
무게 | 17 kg | 37.48 lb |
베어링 | 자기 부상식 |
압축률 - Ar | > 8 · 106 |
압축률 - H2 | > 2 · 102 |
압축률 - He | > 1 · 104 |
압축률 - N2 | > 2 · 107 |
음압 레벨 | ≤42 dB(A) |
장착 방향 | 임의 |
전력 소비량, 최종 압력 | 100 W |
전자 드라이브 유닛 | 통합형 드라이브 전자장치 |
전진공 최대 - N2 | 2.6 hPa | 1.95 Torr | 2.6 mbar |
최대 전력 소비 | 560 W |
최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
펌핑 속도 - Ar | 320 l/s |
펌핑 속도 - H2 | 170 l/s |
펌핑 속도 - He | 310 l/s |
펌핑 속도 - N2 | 350 l/s |
플랜지(입력) | DN 100 CF-F |
플랜지(출력) | DN 25 ISO-KF |
회전 속도 ±2% | 50,000 rpm | 50,000 min-1 |
공냉 장치 키트(ATH 500 M용) | 118543S |
OmniControl 200, PKR 361 포함, 40 CF | PT 440 957 -T |
DN 100용 스테인레스 유입구 필터 | 118001 |
펌프 장착용 연결 키트, DN 25 ISO-KF | 120SWS025-1000 |
CF-F용 나사 세트(ATH 500 M, DN100/160 | ATH 2300 M, DN 200/250용) | 118690 |
케이블을 갖춘 휴대형 리모트(HHR) | 114461 | |
ATH 500 M/MT용 외부 전원 팩 | 114866 |
회전형 플랜지, DN 100 CF-F | 303127 |
공기 배기 밸브(ATH 500 M용) | 200043 |
파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
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데이터 시트 | KO | 2022-08-13 | ~ 584.9 KB |
파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
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작동 지침 ATH 500 M (114436OKO_08) | KO | 2021-07-12 | ~ 8 MB |
T | +1 (800) 248-8254 |
F | +1 (888) 658-7983 |