Magnetgelagerte Turbopumpen - Pfeiffer Vacuum

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VY362100
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ATH 500 M, DN 100 ISO-F, Profibus, 수냉, 비가열
주문 번호: VY362100

  • N2 펌핑 속도가 최대 350 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
  • DN 100 ISO-F 연결 플랜지
  • 컴팩트한 통합형 드라이브 전자장치
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • Profibus, 수냉식, 비가열형
  • CE 마크 및 RoHS 준수 라벨 부착
2707-Operating voltage: V DC 48 (± 5 %) V DC
360-Cooling water flow, min 60 l/h
Ar 압축비 > 8 · 106
Ar펌핑스피드 320 l/s
H2 압축비 > 2 · 102
H2에 대한 기체 처리량 > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s
H2 펌핑스피드 170 l/s
He 압축비 > 1 · 104
He 펌핑스피드 310 l/s
N2 압축비 > 2 · 107
N2에 대한 기체 처리량 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 2.6 hPa | 1.95 Torr | 2.6 mbar
N2 펌핑스피드 350 l/s
냉각 방식, 옵션 공기
냉각수 소비량 60 l/h
냉각수 압력 최대 60 l/h
냉각수 온도 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K
냉각 유형, 표준
런타임 < 2 min
베어링 자기 부상식
아르곤에 대한 기체 처리량 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s
연결 플랜지(입력) DN 100 ISO-F
연결 플랜지(출력) DN 25 ISO-KF
음압 레벨 ≤ 42 dB(A)
인터페이스 Profibus
장착 방향 임의
전기구동장치 통합형 드라이브 전자장치
중량 17 kg | 37.48 lb
최종 압력 < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar
최종 압력에서의 입력 전력 100 W
헬륨에 대한 기체 처리량 > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s
회전 속도 ± 2 % 50,000 rpm | 50,000 min-1

치수 도면 TIM-RS

H
294.5 mm

특성 곡선 TIM-RS-1

특성 곡선 TIM-RS-2

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2019-03-16 ~ 604.7 KB
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