| I/O 인터페이스 | Profibus |
| 가스 처리량 - Ar | 15.2 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - H2 | > 50.7 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - He | > 50.7 hPa·l/s |
| 가스 처리량 - N2 | 37.2 hPa·l/s |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 냉각수 유량 | 60 l/h |
| 런업 시간 | < 8 min |
| 무게 | 60 kg | 132.28 lb |
| 베어링 | 자기 부상식 |
| 보호 등급 | IP54 |
| 압축률 - Ar | > 1 · 108 |
| 압축률 - H2 | > 7 · 103 |
| 압축률 - He | > 1 · 105 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 108 |
| 음압 레벨 | ≤46 dB(A) |
| 입력 전압 | 200 – 240 V AC, 50/60 Hz |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전력 소비량, 최종 압력 | 350 W |
| 전자 드라이브 유닛 | OBC V4 |
| 전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 통합 전자 드라이브 유닛 |
| 전진공 최대 - N2 | 2.1 hPa | 1.57 Torr | 2.1 mbar |
| 주전원 주파수 호환성 | 50 Hz 60 Hz |
| 최대 전력 소비 | 1000 W |
| 최종 압력 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 펌핑 속도 - Ar | 1900 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 1700 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 2050 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 1950 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 250 CF-F |
| 플랜지(출력) | DN 40 ISO-KF |
| 회전 속도 ±2% | 31,000 rpm | 31,000 min-1 |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 40 CF | PT 440 957 -T |
| 물 유입 밸브 24 V DC | 108668 |
| 밀봉 가스 밸브, 50 sccm | 111921S |
| UHV 게이트 밸브, DN 250 CF, UNF, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/Cu/FKM | GVMP-S12642 |
| 먼지 필터 | 106229 |
| DN 250 - M 5용 스테인레스 유입구 필터 | 108762 | |
| DN 250용 알루미늄 유입구 필터 | 111640 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
| CF-F용 나사 세트(ATH 500 M, DN 100/160 | ATH 2300 M, DN 200/250용) | 118690 |
| 케이블을 갖춘 휴대형 리모트(HHR) | 114461 |
| 회전 플랜지 DN 250 CF-F | 303133 |
| 공기 배기 밸브(OBC V4 및 Magpower용) | 114280 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-10-03 | ~ 858.7 KB | ||
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
