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GVMP-S12642

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UHV 게이트 밸브, DN 250 CF, UNF, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/Cu/FKM
주문 번호: GVMP-S12642

금속 밀봉재를 갖춘 스테인레스강 몸체
어떤 방향에서도 작동 가능한 초슬림 프로파일
용접 벨로우즈 실
무윤활유 밸브 메커니즘
폭넓은 선택의 O-링 재질

개방 방향의 차압	1,000 hPa \| 750 Torr \| 1,000 mbar
개방 차압	30 hPa \| 22.5 Torr \| 30 mbar
공칭 직경	DN 250 CF
구동	전자공압식
기밀성	1 · 10^-9 mbar l/s
나사 개수	32 조각
나사산	5/16"-24 UNF
나사산 깊이	16 mm \| 0.63 inch
무게	48 kg \| 105.82 lb
밀봉재: 밸브 시트	FKM
밀봉재: 하우징	구리
밸브 플레이트	스테인레스강 1.4301 (AISI 304)
베이크아웃 온도: 밸브 닫힘	150 °C \| 302 °F \| 423 K
베이크아웃 온도: 밸브 열림, 진공 상태	200 °C \| 392 °F \| 473 K
베이크아웃 온도: 액추에이터	60 °C \| 140 °F \| 333 K
베이크아웃 온도: 액추에이터, 위치 표시기	60 °C \| 140 °F \| 333 K
베이크아웃 온도: 액추에이터, 파일럿 밸브	60 °C \| 140 °F \| 333 K

베이크아웃 온도: 하우징	200 °C \| 392 °F \| 473 K
사용 수명	100000 주기
압력 최소	1 · 10^-10 hPa \| 7.5 · 10^-11 Torr \| 1 · 10^-10 mbar
압축 공기(초과 압력)	4,500-6,000 hPa \| 3,375-4,500 Torr \| 4,500-6,000 mbar
압축 공기 용적	519 cm³
위치 표시기	통합됨
유형	UHV 게이트 밸브
입력 전압	24 V DC
전력 소비	24 V DC / 4.5 W
제어 밸브	포함
최대 압력(절대)	1,000 hPa \| 750 Torr \| 1,000 mbar
컨덕턴스 수치, 분자 유동	21497 l/s
폐쇄/개방 시간	4.5 s/4.5 s
폐쇄 방향의 차압	1,000 hPa \| 750 Torr \| 1,000 mbar
피드스루	벨로우즈
하우징	304/1.4301 스테인레스 스틸

치수-TIM-RS

A: 613 mm
B: 465 mm
C: 92.8 mm
D: 120 mm
E: 241 mm
F: 341 mm
G: 308 mm
H: 304.8 mm
N: 32 x 5/16"-24 UNFx16 mm

파일	타입	언어	날짜	파일용량
데이터 시트	PDF	KO	2023-12-02	~ 340.9 KB

파일	타입	언어	날짜	파일용량
작동 지침	PDF	KO	2022-05-03	~ 1.6 MB

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