0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 |
9 hPa l/s | 6.75 Torr l/s | 9 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 |
16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
I/O 인터페이스 |
RS-485, 원격, DeviceNet |
Mains frequency compatibility |
50 Hz 60 Hz |
가변 회전 속도 |
20 – 100 % |
냉각 방법 |
물 |
냉각 방법(옵션) |
공기 대류 |
냉각수 온도 |
15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K |
냉각수 유량 |
80 l/h |
런업 시간 |
4 min |
무게 |
21.6 kg | 47.62 lb |
베어링 |
자기 부상식 |
보호 등급 |
IP54 |
압축률 - Ar |
> 1 · 1011 |
압축률 - H2 |
2 · 105 |
압축률 - He |
> 1 · 107 |
압축률 - N2 |
> 1 · 1011 |
음압 레벨 |
≤ 45 dB(A) |
인터페이스, 연장 |
DeviceNet |
입력 전압 |
48 V DC (±10 %) |
장착 방향 |
임의 |