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PM P04 468
유사 이미지

TM 700을 갖춘 HiPace® 800 M, DeviceNet, DN 200 CF-F
주문 번호: PM P04 468

  • N2 펌핑 속도가 790 l/s인 자기 부상식 5축 터보 펌프
  • 통합된 디지털 자기 부상식 전자 장치 TM 700
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음 최대 4개의 액세서리 부품 연결이 가능하여 유연성이 높음
  • 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음
  • 인터페이스: RS-485, Remote(주문 시 Profibus/DeviceNet 공급 가능)
  • 터보는 무진동과 오일 프리가 특징입니다
  • 필드 내 센서 교정 기능 포함
  • 펄스 배출용 벤팅 밸브 포함
  • 보호 등급: IP 54
  • 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 9 hPa l/s | 6.75 Torr l/s | 9 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
I/O 인터페이스 RS-485, 원격, DeviceNet
Mains frequency compatibility 50 Hz
60 Hz
가변 회전 속도 20 – 100 %
냉각 방법 물
냉각 방법(옵션) 공기
대류
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
냉각수 유량 80 l/h
런업 시간 4 min
무게 21.6 kg | 47.62 lb
베어링 자기 부상식
보호 등급 IP54
압축률 - Ar > 1 · 1011
압축률 - H2 2 · 105
압축률 - He > 1 · 107
압축률 - N2 > 1 · 1011
음압 레벨 ≤ 45 dB(A)
인터페이스, 연장 DeviceNet
입력 전압 48 V DC (±10 %)  
장착 방향 임의
저진동 예
전원 공급장치 팩 위치 외부형 전원 공급장치 팩
전자 드라이브 유닛 TM 700
전자 드라이브 유닛 설치 유형 통합 전자 드라이브 유닛
전진공 최대 - N2 8 hPa | 6 Torr | 8 mbar
총 누출률 < 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s
최대 냉각수 유량 80 l/h
최대 전력 소비 300 W
최대 전류 7,5 A
최대 허용되는 방사형 자기장 5 mT
최소 냉각수 유량 80 l/h
최종 압력 < 5 · 10-10 hPa | < 3.75 · 10-10 Torr | < 5 · 10-10 mbar
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s
펌핑 속도 - Ar 775 l/s
펌핑 속도 - H2 500 l/s
펌핑 속도 - He 625 l/s
펌핑 속도 - N2 790 l/s
플랜지(입력) DN 200 CF-F
플랜지(출력) DN 25 ISO-KF
환기 연결부 G 1/8"
회전 속도 ±2% 49,200 rpm | 49,200 min-1

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2023-06-07 ~ 626.2 KB
파일 타입 언어 날짜 파일용량
소프트웨어 LabView Driver (Pfeiffer Vacuum) ZIP KO 2021-09-20 ~ 2.4 MB
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