터보펌프

일상생활에서 사용되는 수많은 첨단 제품을 제조하는 데 진공은 필수입니다. 많은 연구 및 산업 분야에 극고진공을 포함한 진공이 필요합니다. 이곳이 파이퍼 베큠의 터보 펌프가 등장하는 분야입니다.

기술표준으로서의 터보분자펌프

관련 터빈에서 이름을 따온 터보분자 펌프(터보 펌프라고도 함)는 산업 및 연구 분야에서 진공 생성을 위한 기술 표준으로 전 세계적으로 자리매김했습니다. 1958년 파이퍼 베큠의 엔지니어 Willi Becker 박사가 개발한 터보 펌프에는 고속 회전자가 장착되어 있습니다. 분당 최대 90,000회전으로 10~ 11hPa 미만의 진공을 생성하므로 고진공(HV), 초고진공(UHV) 또는 극고진공(XHV)과 같은 응용 분야에 이상적인 압력 조건이 됩니다.

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HiPace® 80 Neo는 당사의 특허 받은 LASER BALANCING™ 기술, 통합 로터 온도 측정, 새로운 고성능 윤활제, 지능형 마이크로 USB 인터페이스 등 많은 혁신적인 이점을 제공 합니다 .

터보분자 진공 펌프:

작동 원리에 대한 간단한 설명

터보 펌프는 운동 진공 펌프 그룹에 속합니다 . 설계는 하우징에서 회전하는 블레이드 디스크가 있는 다단계 터빈형 로터로 구성된 터빈과 유사합니다. 마찬가지로 유사한 형상의 블레이드 고정자 디스크가 회전자 디스크 사이에 거울상 방식으로 배열됩니다. 따라서 가스 입자가 로터 블레이드에 부딪히면 충격으로 인해 로터 블레이드가 회전 방향(즉, 펌핑 방향)으로 가속됩니다. 다음 고정자 디스크의 블레이드는 펌핑 방향으로 더 나아가서 그 다음 회전자 디스크로 연결되어 또 다른 추진력을 받습니다.

터보분자 펌프의 작동 방식과 적용 방법에 대해 더 자세히 알고 싶으십니까? 당사의 터보 펌프 교육 과정을 통해 파이퍼 베큠 터보 펌프와 그 사용법에 대해 알아야 할 모든 것을 배우십시오 . 더 자세한 정보는 노하우 섹션 에서도 확인하실 수 있습니다.

3D로 구현된 HiPace 터보 펌프의 기능 원리

파이퍼 베큠의 HiPace 터보 펌프 내부를 살펴보고 구성 요소와 기능을 알아보세요!

파이퍼 베큠 터보 펌프의 장점은 무엇입니까?

그들은 무대 뒤의 비밀 스타입니다. 종종 인식되지 못하더라도 터보 펌프는 문제와 오류 없는 공정을 보장하는 데 크게 기여합니다. 이는 생산 공정 및 연구 프로젝트의 중요한 성공 요인이 됩니다. 위에 나열된 산업 중 하나에서 활동하는 경우, 필요한 작업 및 생산 조건을 확립하는 데 진공은 필수 불가결합니다. 예를 들어, 반도체 생산이나 전자 현미경 검사는 터보 펌프를 사용하지 않고는 구현이 어렵거나 불가능합니다.

펌핑 속도 , 배압 펌프 호환성 , 가스 처리량압축 측면에서 높은 점수를 받았습니다 .

고진공, 초고진공, 극초고진공 생성과 관련하여 파이퍼 베큠 터보 펌프는 당사를 신뢰할 수 있는 모든 이유를 제공합니다.

  • 최적의 작동 조건 : 최대 <10-11 hPa 의 고진공, 초고진공 및 극초고진공 생성을 위한 최대 90,000rpm 및 10~> 3,000l/s의 펌핑 속도

  • 우수한 품질로 인한 높은 효율성 : 최대 100,000시간 이상 문제 없는 작동 시간

  • 높은 유연성 : 컴팩트하고 가벼운 설계로 인해 공간이 제한된 시스템에도 터보 펌프를 통합할 수 있습니다. IP54 등급의 펌프는 산업용으로 특별히 설계되었습니다.

  • 생산 중단 시간 감소 : 생산 현장에서 직접 베어링과 운영 자재를 간단히 교체할 수 있습니다.

  • 최첨단 드라이브 전자 장치 : 동력 전달 손실 감소, 에너지 효율성 극대화 및 최신 필드버스 시스템 통합 가능

  • 진동 및 소음 감소 작동 : 당사의 고정밀 레이저 밸런싱 방법 덕분에 당사의 터보 펌프는 진동에 민감한 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.

파이퍼 베큠의 새로운 레이저 밸런싱 방법이 특별한 이유는 무엇입니까?

파이퍼 베큠의 최신 혁신 기술인 레이저 밸런싱 방법은 터보 펌프 생산에 새로운 이정표를 세웠습니다. 기존의 밸런싱 방법과 달리 레이저 밸런싱은 밸런싱 웨이트 설치나 기계적 밀링 공정이 필요하지 않습니다. 대신, 고정밀 레이저는 유연한 적용 가능성과 최첨단 측정 및 계산 알고리즘 덕분에 균형 평면의 재료를 효율적이고 정확하게 기화합니다. 따라서 잔여 불균형은 기존 밸런싱보다 훨씬 낮습니다. 그 결과, 수명이 연장되고 소음 방출 이 감소된 저진동 터보 펌프가 탄생 했습니다 . 저진동이 필요한 장치 및 응용 분야에 이상적입니다.

새로운 Laser BalancingTM 기술

새로운 Laser BalancingTM 기술

살펴 보고 신기술이 어떻게 개발되는지 보여드립니다.

파이퍼 베큠 터보 펌프 – 하이브리드 베어링과 자기 베어링 중에서 선택

파이퍼 베큠의 터보 펌프는 하이브리드 베어링 서스펜션과 활성 5축 자기 부상 시스템이라는 두 가지 베어링 기술로 제공됩니다. 두 베어링 시스템 모두 개별적인 강점을 가지고 있습니다.

하이브리드 베어링이 장착된 터보 펌프

하이브리드 베어링이 장착된 터보 펌프는 전진공 측의 세라믹 볼 베어링과 고진공 측의 영구 자석 베어링의 조합을 특징으로 합니다. 이 조합은 매우 견고하고 깨끗한 로터 베어링 배열을 제공합니다. 통합된 작동 유체 저장소를 통해 로터는 쉽게 열을 발산하고 안정적으로 작동할 수 있습니다. 마모 입자는 작동 유체 저장소를 통해 필터링되어 총 사용 수명이 늘어납니다. 하이브리드 베어링의 발명자로서 파이퍼 베큠은 이 고효율 베어링 기술의 선구자입니다. 40년의 제조 경험을 되돌아보면 당사의 하이브리드 베어링 터보 펌프의 품질을 신뢰할 수 있습니다.

하이브리드 터보 펌프의 단면도

자기 부상 터보 펌프

자기 부상 터보 펌프는 전자석에 의해 서스펜션에 고정된 로터와, 로터와 외부 케이싱 사이에 기계적 접촉점이 없도록 보장하는 디지털 전자 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 정전 시 로터가 비상 베어링에 단단히 안착할 때까지 터보 펌프 자체의 회전 에너지로 전력이 공급됩니다. 이러한 기능은 로터의 조기 마모를 방지하고 전체 서비스 수명 동안 유지보수 없이 사용할 수 있도록 해줍니다. 또한 자기 베어링 터보 펌프에는 윤활유가 필요하지 않으므로 탄화수소 오염 위험이 없습니다.

자기 부상 터보 펌프의 단면도

터보펌프는 어디에 사용되나요?

진공 기술은 산업 제조 공정뿐만 아니라 다양한 기술 연구 분야에서 중요한 역할을 합니다.

다음 응용 분야에서 파이퍼 베큠의 터보 펌프를 사용할 수 있습니다.

파이퍼 베큠의 인증된 터보 펌프로 작업장 안전 강화

최신 터보 펌프는 최대 1,500Hz의 속도에 도달할 수 있습니다. 따라서 운동 에너지가 높기 때문에 펌프 하우징에 극한의 힘이 작용하고 오류가 발생할 경우 몇 분의 1초 내에 고정됩니다.

Rheinland 와 협력하여 기계적 안전 외에도 과속에 대한 이중 보호 기능을 포함하는 안전 인증을 개발했습니다 . 파이퍼 베큠 터보 펌프는 특히 긴 사용 수명을 위해 설계되었으므로 안전한 사용을 보장하기 위해 각각 UL 61010 및 Semi S2 지침 에 따라 터보 분자 펌프를 평가하고 인증합니다 .