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PM 016 911 -U
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밀봉 기체 모니터링 장치 G 1/8"
주문 번호: PM 016 911 -U

  • 밀봉 기체 스로틀 또는 밀봉 기체 밸브 최대 3.4hPa l/s와 함께 밀봉 기체 모니터링용
  • 별도의 M12 연결 케이블(예를 들어, PM 061 281-T)로 HiPace(TC 400, TC 1200 및 TM 700 포함)의 액세서리 출력단에 연결
  • N2/청정 공기에 적합
  • 최대 입구 압력 1500 hPa abs.
  • 연결: G 1/8"
  • 모든 방향에서 설치
I/O 인터페이스 RS-485
기계식 연결 G 1/8"
냉각 방법 대류
무게 330 g
보호 등급 IP54
작동 온도 ≤ 60 °C | ≤ 140 °F | ≤ 333 K
전력 소비 0,5 W
전자 드라이브 유닛 TC 1200
TM 700
TC 400
정밀도 ±3 sccm
총 누출률 1 · 10-8 Pa m3/s | 7.5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s
측정 범위 5 – 200 sccm
펌프 HiPace 300 – 2300 | HiPace 300 M – 800 M
플랜지(입력) G 1/8"
플랜지(출력) DN 10 ISO-KF/G 1/8"
피드스루 전압 24 V DC

치수-TIM-RS

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