0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar |
26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - CF4 |
30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 |
8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He |
15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 |
26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
I/O 인터페이스 |
RS-485, 원격 |
가변 회전 속도 |
50 – 100 % |
냉각 방법 |
물 |
냉각수 연결부 |
G 1/4” |
냉각수 온도 |
15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K |
냉각수 유량 |
100 l/h |
런업 시간 |
2.5 min |
무게 |
42 kg | 92.59 lb |
베어링 |
하이브리드 |
보호 등급 |
IP54 |
압축률 - Ar |
1 · 108 |
압축률 - CF4 |
1 · 108 |
압축률 - H2 |
6 · 103 |
압축률 - He |
6 · 104 |
압축률 - N2 |
1 · 108 |
음압 레벨 |
50 dB(A) |
인증 |
Semi S2 적합 TÜV CSA UL |
작동 전압: 50/60 Hz |
100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
장착 방향 |
0° (HV 플랜지 상단) – 90° |