TC 1200을 갖춘 HiPace® 1500 U, E74, DN 250 CF-F
주문 번호: PM P06 118
- N2 펌핑 속도가 최대 1250 l/s인 고성능 터보 펌프
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - CF4 | 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 | 8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He | 15 hPa l/s | 11.25 Torr l/s | 15 mbar l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 | 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s |
I/O 인터페이스 | E74, RS-485 |
가변 회전 속도 | 50 – 100 % |
냉각 방법 | 물 |
냉각수 연결부 | G 1/4” |
냉각수 온도 | 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K |
냉각수 유량 | 100 l/h |
런업 시간 | 2.5 min |
무게 | 42 kg | 92.59 lb |
베어링 | 하이브리드 |
보호 등급 | IP54 |
압축률 - Ar | 1 · 108 |
압축률 - CF4 | 1 · 108 |
압축률 - H2 | 6 · 103 |
압축률 - He | 6 · 104 |
압축률 - N2 | 1 · 108 |
음압 레벨 | 50 dB(A) |
인증 | Semi S2 적합 TÜV CSA UL |
작동 전압: 50/60 Hz | 100 – 120 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC |
장착 방향 | 90° – 180° (HV 플랜지 하단) |
전자 드라이브 유닛 | TC 1200 |
전자 드라이브 유닛용 | TC 1200 |
전진공 최대 - N2 | 2 hPa | 1.5 Torr | 2 mbar |
최대 냉각수 유량 | 100 l/h |
최대 전력 소비 | 1350 VA |
최대 전류 | 10 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 | 6 mT |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - CF4 | 12 hPa l/s | 9 Torr l/s | 12 mbar l/s |
최소 냉각수 유량 | 100 l/h |
최종 압력 | 5 · 10-10 hPa | 3.75 · 10-10 Torr | 5 · 10-10 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar | 6 hPa l/s | 4.5 Torr l/s | 6 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 | 30 hPa l/s | 22.5 Torr l/s | 30 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 | 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s |
펌핑 속도 - Ar | 1350 l/s |
펌핑 속도 - CF4 | 1100 l/s |
펌핑 속도 - H2 | 1150 l/s |
펌핑 속도 - He | 1350 l/s |
펌핑 속도 - N2 | 1400 l/s |
플랜지(입력) | DN 250 CF-F |
플랜지(출력) | DN 40 ISO-KF |
환기 연결부 | G 1/8" |
회전 속도 ±2% | 37,800 rpm | 37,800 min-1 |
구리 개스킷, OFHC 구리, DN 250 CF | 490DFL250-S5 |
구리 개스킷, 은 도금, DN 250 CF | 490DFL250-S-S5 |
구리 개스킷, 은 도금, 진공 어닐링, DN 250 CF | 490DFL250-S-G-S5 |
구리 개스킷, 진공 어닐링, DN 250 CF | 490DFL250-G-S5 |
밀봉 기체 모니터링 장치 G 1/8" | PM 016 911 -U |
OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
터보 펌프용 스플린터 차폐, DN 250 CF-F | PM 016 324 | |
DN 250 CF-F용 보호 화면 | PM 016 345 |
HiPace 400/700/800 P 버전과 HiPace 1200–2300용 밀봉 기체 스로틀 | PM Z01 318 |
탄성 중합체 실, FKM, DN 250 CF | 402DFL250-Z |
펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
계전기 박스, 차폐됨, 배압 펌프용, TC 400/1200, TM 700 및 TCP 350용 단상 20 A, M12 | PM 071 285 -X |
인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 직선형, 3 m | PM 061 283 -T |
펌핑 스테이션 제어 케이블 0.7 m | PM 061 675 AT | |
HiPace - ACP 연결 케이블 | PM 071 142 -X |
전원 케이블 230 V AC, CEE 7/7-HAN 3A, 3 m | P 4564 309 HA | |
전원 케이블 208 V AC, NEMA 6-15 HAN 3A, 3 m | P 4564 309 HB | |
전원 케이블 115 V AC, NEMA 5-15 HAN 3A, 3 m | PM 061 187 -X |
탄성 중합체 실, FKM, DN 250 CF | 402DFL250-S2 |
파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
---|---|---|---|---|---|
데이터 시트 | KO | 2023-03-23 | ~ 519.7 KB | ||
Step 파일 | STP | KO | 2022-08-16 | ~ 8.1 MB |
T | +1 (800) 248-8254 |
F | +1 (888) 658-7983 |