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PM P06 206
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TC 1200을 갖춘 HiPace® 1800, E74, DN 200 ISO-K
주문 번호: PM P06 206

0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - CF4 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
I/O 인터페이스 E74, RS-485
PNEUROP에 따른 최종 압력 < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
가변 회전 속도 50 – 100 %
냉각 방법
냉각수 연결부 G 1/4”
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
냉각수 유량 100 l/h
런업 시간 4 min
무게 37 kg | 81.57 lb
베어링 하이브리드
보호 등급 IP54
압축률 - Ar > 1 · 108
압축률 - CF4 1 · 108
압축률 - H2 2 · 104
압축률 - He 3 · 105
압축률 - N2 > 1 · 108
음압 레벨 ≤50 dB(A)
인증 UL
Semi S2 적합
CSA
TÜV
장착 방향 0° (HV 플랜지 상단) – 90°
전자 드라이브 유닛 TC 1200
전자 드라이브 유닛용 TC 1200
전진공 최대 - N2 1.8 hPa | 1.35 Torr | 1.8 mbar
최대 냉각수 유량 100 l/h
최대 전력 소비 1350 VA
최대 전류 10 A
최대 허용되는 방사형 자기장 7 mT
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - CF4 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
최소 냉각수 유량 100 l/h
최종 압력, 가스 밸러스트 미사용 1 · 10-7 hPa | 7.5 · 10-8 Torr | 1 · 10-7 mbar
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s
통합형 전원 공급장치 팩
펌핑 속도 - Ar 1370 l/s
펌핑 속도 - CF4 1050 l/s
펌핑 속도 - H2 1700 l/s
펌핑 속도 - He 1650 l/s
펌핑 속도 - N2 1450 l/s
플랜지(입력) DN 200 ISO-K
플랜지(출력) DN 40 ISO-KF
환기 연결부 G 1/8"
회전 속도 ±2% 31,500 rpm | 31,500 min-1

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

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