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PM P06 316
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TC 1200을 갖춘 HiPace® 2300 U, E74, DN 250 ISO-K
주문 번호: PM P06 316

Ar 압축비 1 · 108
Ar펌핑스피드 1800 l/s
CF4 경우 0.1 hPa HV-압력에서의 기체 처리량 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
CF4 압축비 1 · 108
H2 압축비 2 · 104
H2의 경우 0.1 hPa HV-압력에서의 기체 처리량 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
H2 펌핑스피드 1850 l/s
He 압축비 3 · 105
He 펌핑스피드 2000 l/s
I/O 인터페이스 E74, RS485
N2 압축비 1 · 108
N2의 경우 0.1 hPa HV-압력에서의 기체 처리량 38 hPa l/s | 28.5 Torr l/s | 38 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 1.8 hPa | 1.35 Torr | 1.8 mbar
N2 펌핑스피드 1900 l/s
PNEUROP에 따른 최종 압력 1 · 10-7 hPa | 7.5 · 10-8 Torr | 1 · 10-7 mbar
가변 회전 속도 50 – 100 %
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 1 · 10-7 hPa | 7.5 · 10-8 Torr | 1 · 10-7 mbar
냉각수 소비량 100 l/h
냉각수 소비 최대 100 l/h
냉각수 연결 G 1/4”
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
냉각 유형, 표준
런타임 4 min
무게 35.5 kg | 78.26 lb
베어링 하이브리드
벤팅 연결부 G 1/8"
보호 등급 IP54
아르곤의 경우 0.1 hPa HV-압력에서의 기체 처리량 34 hPa l/s | 25.5 Torr l/s | 34 mbar l/s
음압 레벨 ≤50 dB(A)
장착 방향 90° – 180° (HV 플랜지 하단)
전기구동장치용 TC 1200
전력 소비 최대 1350 VA
전류 최대 10 A
전압: 범위 90 – 265 V AC
전자 드라이브 유닛 TC 1200
최대 허용 자기장 7 mT
최종 회전속도일 때 Ar 유량 16 hPa l/s | 12 Torr l/s | 16 mbar l/s
최종 회전속도일 때 CF4 유량 14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s
최종 회전속도일 때 H2 유량 50 hPa l/s | 37.5 Torr l/s | 50 mbar l/s
최종 회전속도일 때 He 유량 20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s
최종 회전속도일 때 N2 유량 28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s
통합 전원 팩
플랜지(입력) DN 250 ISO-K
플랜지(출력) DN 40 ISO-KF
헬륨의 경우 0.1 hPa HV-압력에서의 기체 처리량 26 hPa l/s | 19.5 Torr l/s | 26 mbar l/s
회전 속도 ± 2 % 31,500 rpm | 31,500 min-1

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2019-12-11 ~ 464.4 KB
파일 타입 언어 날짜 파일용량
운영 지침 PDF KO 2017-05-09 ~ 7.1 MB
운영 지침 PDF KO 2019-07-29 ~ 2.9 MB
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