HiPace® 2800 IT

최대 2800 l/s 펌핑 속도의 강력한 터보 펌프.

제품 설명

  • 이온 주입 시스템에 적합
  • 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
  • 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
  • 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
  • Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증

제품

TMS
  • 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
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