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PM P05 246
유사 이미지

TC 1200을 갖춘 HiPace® 2800 IUT, DN 250 ISO-F
주문 번호: PM P05 246

  • 이온 주입 시스템에 적합
  • 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
  • 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
  • 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
  • Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar > 32 hPa·l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 42 hPa·l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He 62 hPa·l/s
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 > 50 hPa·l/s
I/O 인터페이스 E74, RS-485
가변 회전 속도 50 – 100 %
가열 슬리브의 전력 소비량, 최대값 1100 W
냉각 방법 물
냉각수 연결부 G 1/4”
냉각수 온도 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K
냉각수 유량 100 l/h
런업 시간 8.6 min
무게 62 kg | 136.69 lb
베어링 하이브리드
보호 등급 Type 1
IP20
압축률 - Ar > 1 · 108
압축률 - H2 4 · 103
압축률 - He 6 · 104
압축률 - N2 > 1 · 108
음압 레벨 <50 dB(A)
입력 전압 208 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz  
장착 방향 90° – 180° (HV 플랜지 하단)
전원 공급장치 팩 위치 일체형 전원 공급장치 팩
전자 드라이브 유닛 TC 1200
전자 드라이브 유닛 설치 유형 통합 전자 드라이브 유닛
전진공 최대 - N2 0.8 hPa | 0.6 Torr | 0.8 mbar
주전원 주파수 호환성 50 Hz
60 Hz
총 누출률 1 · 10-8 Pa m3/s | 7.5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s
최대 전력 소비 1350 VA
최대 전류 10 A
최대 허용되는 방사형 자기장 3.4 mT
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 65°C 가열 펌프 9 hPa·l/s
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 75°C 가열 펌프 6 hPa·l/s
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 65°C 가열 펌프 30 hPa·l/s
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 75°C 가열 펌프 18 hPa·l/s
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 65°C 가열 펌프 13 hPa·l/s
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 75°C 가열 펌프 7 hPa·l/s
최종 압력 < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar 12 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 75 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He 24 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 18 hPa·l/s
펌핑 속도 - Ar 2100 l/s
펌핑 속도 - H2 2600 l/s
펌핑 속도 - He 2900 l/s
펌핑 속도 - N2 2300 l/s
플랜지(입력) DN 250 ISO-F
플랜지(출력) DN 40 ISO-KF
환기 연결부 G 1/8"
회전 속도 ±2% 27,300 rpm | 27,300 min-1

명시된 가스 처리량은 1000 m3/h 및 TMS 온도 55°C의 전진공 펌핑 시스템을 사용해 계산되었습니다.

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2023-10-03 ~ 671.2 KB
파일 타입 언어 날짜 파일용량
작동 지침 PDF KO 2020-01-08 ~ 14 MB
운영 지침 PDF KO 2023-04-28 ~ 3.3 MB
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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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