TC 1200을 갖춘 HiPace® 2800 IUT, DN 250 ISO-F
주문 번호: PM P05 246
- 이온 주입 시스템에 적합
- 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
- 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
- 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
- Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - Ar | > 32 hPa·l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - H2 | 42 hPa·l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - He | 62 hPa·l/s |
0.1 hPa HV 압력에서 가스 처리량 - N2 | > 50 hPa·l/s |
I/O 인터페이스 | E74, RS-485 |
가변 회전 속도 | 50 – 100 % |
가열 슬리브의 전력 소비량, 최대값 | 1100 W |
냉각 방법 | 물 |
냉각수 연결부 | G 1/4” |
냉각수 온도 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
냉각수 유량 | 100 l/h |
런업 시간 | 8.6 min |
무게 | 62 kg | 136.69 lb |
베어링 | 하이브리드 |
보호 등급 | Type 1 IP20 |
압축률 - Ar | > 1 · 108 |
압축률 - H2 | 4 · 103 |
압축률 - He | 6 · 104 |
압축률 - N2 | > 1 · 108 |
음압 레벨 | <50 dB(A) |
입력 전압 | 208 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
장착 방향 | 90° – 180° (HV 플랜지 하단) |
전원 공급장치 팩 위치 | 일체형 전원 공급장치 팩 |
전자 드라이브 유닛 | TC 1200 |
전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 통합 전자 드라이브 유닛 |
전진공 최대 - N2 | 0.8 hPa | 0.6 Torr | 0.8 mbar |
주전원 주파수 호환성 | 50 Hz 60 Hz |
총 누출률 | 1 · 10-8 Pa m3/s | 7.5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s |
최대 전력 소비 | 1350 VA |
최대 전류 | 10 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 | 3.4 mT |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 65°C 가열 펌프 | 9 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar, 75°C 가열 펌프 | 6 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 65°C 가열 펌프 | 30 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - H2, 75°C 가열 펌프 | 18 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 65°C 가열 펌프 | 13 hPa·l/s |
최대 회전 속도에서 가스 처리량 - N2, 75°C 가열 펌프 | 7 hPa·l/s |
최종 압력 | < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar | 12 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 | 75 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He | 24 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 | 18 hPa·l/s |
펌핑 속도 - Ar | 2100 l/s |
펌핑 속도 - H2 | 2600 l/s |
펌핑 속도 - He | 2900 l/s |
펌핑 속도 - N2 | 2300 l/s |
플랜지(입력) | DN 250 ISO-F |
플랜지(출력) | DN 40 ISO-KF |
환기 연결부 | G 1/8" |
회전 속도 ±2% | 27,300 rpm | 27,300 min-1 |
명시된 가스 처리량은 1000 m3/h 및 TMS 온도 55°C의 전진공 펌핑 시스템을 사용해 계산되었습니다.
밀봉 기체 모니터링 장치 G 1/8" | PM 016 911 -U |
OmniControl 200, PKR 361 포함, 25 KF | PT 440 955 -T |
다기능 코팅 및 통합형 스플린터 차폐를 갖춘 센터링 링, DN 250 ISO-K/-F | PM 016 226 AU | |
다기능 코팅 및 통합 보호 스크린을 갖춘 센터링 링, DN 250 ISO-K/-F | PM 016 227 AU |
RS-485용 Y-분배기 M12 | P 4723 010 | |
USB RS-485 변환기 | PM 061 207 -T | |
RS-485용 종단 저항기 | PT 348 105 -T | |
RS-485용 전원 분리기 | PT 348 132 -T |
Y-커넥터, 차폐됨, 부속품용 M12 | P 4723 013 |
펌프 장착용 연결 키트, DN 40 ISO-KF | 120SWS040-1000 |
다기능 코팅 센터링 링, DN 250 ISO-K/-F | PM 016 225 AU |
릴레이 박스, 차폐형, 배압 펌프용, TC 400/1200, TM 700 및 TCP 350용 단상 모터 7 A, M12 | PM 071 284 -X | |
계전기 박스, 차폐됨, 배압 펌프용, TC 400/1200, TM 700 및 TCP 350용 단상 모터 20 A, M12 | PM 071 285 -X |
인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 직선형, 3 m | PM 061 283 -T | |
인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 앵글형 0.7 m | PM 061 791 -T |
펌핑 스테이션 제어 케이블 0.7 m | PM 061 675 AT | |
HiPace - ACP 연결 케이블 | PM 071 142 -X |
전원 케이블 230 V AC, CEE 7/7-HAN 3A, 3 m | P 4564 309 HA | |
전원 케이블 208 V AC, NEMA 6-15 HAN 3A, 3 m | P 4564 309 HB | |
전원 케이블 115 V AC, NEMA 5-15 HAN 3A, 3 m | PM 061 187 -X |
M12에 연장 케이블 M12 | PM 061 747 -T |
파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
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데이터 시트 | KO | 2023-10-03 | ~ 671.2 KB |
파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
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작동 지침 | KO | 2020-01-08 | ~ 14 MB | ||
운영 지침 | KO | 2023-04-28 | ~ 3.3 MB |
T | +1 (800) 248-8254 |
F | +1 (888) 658-7983 |