최대 전진공 - Ar |
25 hPa | 18.75 Torr | 25 mbar |
최대 전진공 - H2 |
15 hPa | 11.25 Torr | 15 mbar |
최대 전진공 - He |
28 hPa | 21 Torr | 28 mbar |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
5.5 mT |
최소 냉각수 유량 |
50 l/h |
최종 압력 |
< 1 · 10-10 hPa | < 7.5 · 10-11 Torr | < 1 · 10-10 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
0.5 hPa l/s | 0.38 Torr l/s | 0.5 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
1.5 hPa l/s | 1.12 Torr l/s | 1.5 mbar l/s |
펌핑 속도 - Ar |
255 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
220 l/s |
펌핑 속도 - He |
255 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
260 l/s |
플랜지(입력) |
DN 100 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 16 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
60,000 rpm | 60,000 min-1 |