전자 드라이브 유닛 설치 유형 |
통합 전자 드라이브 유닛 |
전진공 최대 - N2 |
20 hPa | 15 Torr | 20 mbar |
총 누출률 |
1 · 10-8 Pa m3/s | 7.5 · 10-8 Torr l/s | 1 · 10-7 mbar l/s |
최대 냉각수 유량 |
50 l/h |
최대 전력 소비 |
420 W |
최대 전류 |
8,4 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
5.5 mT |
최소 냉각수 유량 |
50 l/h |
최종 압력 |
< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
7 hPa l/s | 5.25 Torr l/s | 7 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
20 hPa l/s | 15 Torr l/s | 20 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
14 hPa l/s | 10.5 Torr l/s | 14 mbar l/s |
펌핑 속도 - Ar |
255 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
220 l/s |
펌핑 속도 - He |
255 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
260 l/s |
플랜지(입력) |
DN 100 ISO-F |
플랜지(출력) |
DN 16 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
60,000 rpm | 60,000 min-1 |