최대 전류 |
3,8 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
5.5 mT |
최종 압력 |
< 5 · 10-10 hPa | < 3.75 · 10-10 Torr | < 5 · 10-10 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
0.5 hPa l/s | 0.38 Torr l/s | 0.5 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
5 hPa l/s | 3.75 Torr l/s | 5 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
1.8 hPa l/s | 1.35 Torr l/s | 1.8 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
0.9 hPa l/s | 0.68 Torr l/s | 0.9 mbar l/s |
통합형 전원 공급장치 팩 |
예 |
펌핑 속도 - Ar |
255 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
220 l/s |
펌핑 속도 - He |
255 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
260 l/s |
플랜지(입력) |
DN 100 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 16 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
60,000 rpm | 60,000 min-1 |