| I/O 인터페이스 | RS-485, 원격 |
| 가변 회전 속도 | 35 – 100 % |
| 냉각 방법 | 공기 |
| 런업 시간 | 4 min |
| 무게 | 8.9 kg | 19.62 lb |
| 베어링 | 하이브리드 |
| 압축률 - Ar | > 1 · 1011 |
| 압축률 - H2 | 9 · 105 |
| 압축률 - He | > 1 · 108 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 1011 |
| 음압 레벨 | ≤50 dB(A) |
| 인터페이스, 연장 | Profibus DeviceNet E74 |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전자 드라이브 유닛 | TC 110 있음 |
| 전진공 최대 - N2 | 11 hPa | 8.25 Torr | 11 mbar |
| 최대 전력 소비 | 100 W |
| 최대 전류 | 3,8 A |
| 최대 허용되는 방사형 자기장 | 5.5 mT |
| 최종 압력 | < 5 · 10-10 hPa | < 3.75 · 10-10 Torr | < 5 · 10-10 mbar |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar | 0.5 hPa l/s | 0.38 Torr l/s | 0.5 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 | 5 hPa l/s | 3.75 Torr l/s | 5 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He | 1.8 hPa l/s | 1.35 Torr l/s | 1.8 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 | 0.9 hPa l/s | 0.68 Torr l/s | 0.9 mbar l/s |
| 통합형 전원 공급장치 팩 | 예 |
| 펌핑 속도 - Ar | 255 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 220 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 255 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 260 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 100 CF-F |
| 플랜지(출력) | DN 16 ISO-KF/G ¼" |
| 환기 연결부 | G 1/8" |
| 회전 속도 ±2% | 60,000 rpm | 60,000 min-1 |
| UHV 게이트 밸브, DN 100 CF, 메트릭, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/Cu/FKM | GVMP-S08542 |
| 구리 개스킷, OFHC 구리, DN 100 CF | 490DFL100-S10 |
| 구리 개스킷, 은 도금, DN 100 CF | 490DFL100-S-S5 |
| 구리 개스킷, 은 도금, 진공 어닐링, DN 100 CF | 490DFL100-S-G-S5 |
| 구리 개스킷, 진공 어닐링, DN 100 CF | 490DFL100-G-S5 |
| 밀봉 기체 밸브, TC 110/120을 갖춘 HiPace 300용으로 차폐됨 | PM Z01 311 |
| TVV 001, 전진공 안전 밸브, 230 V AC | PM Z01 205 | |
| TVV 001, 전진공 안전 밸브, 115 V AC | PM Z01 206 |
| 터보 펌프용 스플린터 차폐, DN 100 CF-F | PM 016 315 | |
| DN 100 CF-F용 보호 스크린 | PM 016 336 |
| HiPace 300용 씰링 가스 스로틀 | PM Z01 317 |
| 탄성 중합체 실, FKM, DN 100 CF | 402DFL100-Z |
| RS-485용 Y-분배기 M12 | P 4723 010 | |
| USB RS-485 변환기 | PM 061 207 -T | |
| RS-485용 커플링 M12 | PM 061 270 -X | |
| RS-485용 종단 저항기 | PT 348 105 -T | |
| RS-485용 전원 분리기 | PT 348 132 -T |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 16 ISO-KF | 120SWS016-1000 |
| 배압 펌프용 릴레이 박스, TC 110/120 및 TCP 350용 단상 20 A, M8 플러그 | PM 061 373 -T | |
| 계전기 박스, 차폐됨, 배압 펌프용, TC 110/120 및 TCP 350용 단상 7A, 플러그 M8 | PM 071 282 -X |
| HiPace 300/400, DN 100 CF-F용 진동 댐퍼 | PM 006 488 -X |
| 인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 직선형, 3 m | PM 061 283 -T | |
| 인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 앵글형 0.7 m | PM 061 791 -T |
| 밸브용 제어 케이블 | PM 061 687 -T | |
| HiPace - ACP 연결 케이블 | PM 071 142 -X |
| 본선 케이블 230 V AC, CEE 7/7, C13, 3 m | P 4564 309 ZA | |
| 본선 케이블 115 V AC, NEMA 5-15, C13, 3 m | P 4564 309 ZE | |
| 본선 케이블 208 V AC, NEMA 6-15, C13, 3 m | P 4564 309 ZF |
| 탄성 중합체 실, FKM, DN 100 CF | 402DFL100-S2 |
| 정전 배기 밸브, 차폐됨, 24 V DC, TC 110/120 연결용 G 1/8" | PM Z01 330 |
| 배기 밸브, 차폐됨, 24 V DC, G 1/8", TC 110/120 에 연결용 | PM Z01 290 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-03-25 | ~ 568.8 KB | ||
| Step 파일 | STP | KO | 2010-06-23 | ~ 2.2 MB | |
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
