| I/O 인터페이스 | RS-485, 원격 |
| Mains frequency compatibility | 50 Hz 60 Hz |
| 가변 회전 속도 | 35 – 100 % |
| 냉각 방법 | 물 |
| 냉각 방법(옵션) | 공기 |
| 냉각수 온도 | 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K |
| 냉각수 유량 | 50 l/h |
| 런업 시간 | 1.2 min |
| 무게 | 8.4 kg | 18.52 lb |
| 베어링 | 하이브리드 |
| 보호 등급 | IP54 Type 12 |
| 압축률 - Ar | > 1 · 107 |
| 압축률 - H2 | 3 · 102 |
| 압축률 - He | 2.2 · 103 |
| 압축률 - N2 | > 1 · 106 |
| 음압 레벨 | ≤ 50 dB(A) |
| 입자 흡입 | 예 |
| 장착 방향 | 임의 |
| 전원 공급장치 팩 위치 | 외부형 전원 공급장치 팩 |
| 전자 드라이브 유닛 | TC 400 |
| 전자 드라이브 유닛 설치 유형 | 통합 전자 드라이브 유닛 |
| 전진공 최대 - N2 | 1 hPa | 0.75 Torr | 1 mbar |
| 총 누출률 | < 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s |
| 최대 냉각수 유량 | 50 l/h |
| 최대 전력 소비 | 300 W |
| 최대 전류 | 12,5 A |
| 최대 허용되는 방사형 자기장 | 5.5 mT |
| 최소 냉각수 유량 | 50 l/h |
| 최종 압력 | < 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar | 4.4 hPa l/s | 3.3 Torr l/s | 4.4 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 | > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He | > 20 hPa l/s | > 15 Torr l/s | > 20 mbar l/s |
| 최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 | 17 hPa l/s | 12.75 Torr l/s | 17 mbar l/s |
| 펌핑 속도 - Ar | 250 l/s |
| 펌핑 속도 - H2 | 125 l/s |
| 펌핑 속도 - He | 220 l/s |
| 펌핑 속도 - N2 | 245 l/s |
| 플랜지(입력) | DN 100 CF-F |
| 플랜지(출력) | DN 16 ISO-KF/G ¼" |
| 환기 연결부 | G 1/8" |
| 회전 속도 ±2% | 60,000 rpm | 60,000 min-1 |
| UHV 게이트 밸브, DN 100 CF, 메트릭, 전자공압식, PI (RS)/PV 24 V DC, SS/Cu/FKM | GVMP-S08542 |
| 구리 개스킷, OFHC 구리, DN 100 CF | 490DFL100-S10 |
| 구리 개스킷, 은 도금, DN 100 CF | 490DFL100-S-S5 |
| 구리 개스킷, 은 도금, 진공 어닐링, DN 100 CF | 490DFL100-S-G-S5 |
| 구리 개스킷, 진공 어닐링, DN 100 CF | 490DFL100-G-S5 |
| 밀봉 기체 모니터링 장치 G 1/8" | PM 016 911 -U |
| OmniControl 200, PKR 361 포함, 40 CF | PT 440 957 -T |
| 씰링 가스 밸브, TC 400 및 TM 700을 갖춘 HiPace 300용으로 차폐, TCP 350 | PM Z01 312 |
| TVV 001, 전진공 안전 밸브, 230 V AC | PM Z01 205 | |
| TVV 001, 전진공 안전 밸브, 115 V AC | PM Z01 206 |
| 터보 펌프용 스플린터 차폐, DN 100 CF-F | PM 016 315 | |
| DN 100 CF-F용 보호 스크린 | PM 016 336 |
| HiPace 300용 씰링 가스 스로틀 | PM Z01 317 |
| 탄성 중합체 실, FKM, DN 100 CF | 402DFL100-Z |
| RS-485용 원격 어댑터 | PM 061 649 -X |
| RS-485용 Y-분배기 M12 | P 4723 010 | |
| USB RS-485 변환기 | PM 061 207 -T | |
| RS-485용 커플링 M12 | PM 061 270 -X | |
| RS-232/RS-485 변환기 | PE 100 043 -T | |
| RS-485용 종단 저항기 | PT 348 105 -T | |
| RS-485용 전원 분리기 | PT 348 132 -T |
| 플러그용 하우징, 분무 보호, 15극, D-Sub | P 0998 016 | |
| Y-커넥터, 차폐됨, 부속품용 M12 | P 4723 013 | |
| 공급 소켓 TC 400/TM 700, 직선형 | P 4723 100 | |
| 공급 부싱, 앵글형, TC 400/TM 700용 | P 4723 101 |
| 펌프 장착용 연결 키트, DN 16 ISO-KF | 120SWS016-1000 |
| 배압 펌프용 릴레이 박스, TC 400 및 TCP 350용 단상 모터 20 A, M12 플러그 | PM 061 375 -T | |
| 릴레이 박스, 차폐형, 배압 펌프용, TC 400/1200, TM 700 및 TCP 350용 단상 모터 7 A, M12 | PM 071 284 -X |
| HiPace 300/400, DN 100 CF-F용 진동 댐퍼 | PM 006 488 -X |
| 인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 직선형, 3 m | PM 061 283 -T | |
| 인터페이스 케이블, M12 m 직선형 / M12 m 앵글형 0.7 m | PM 061 791 -T |
| 펌핑 스테이션 제어 케이블 0.7 m | PM 061 675 AT | |
| HiPace - ACP 연결 케이블 | PM 071 142 -X |
| 본선 케이블 230 V AC, CEE 7/7, C13, 3 m | P 4564 309 ZA | |
| 본선 케이블 115 V AC, NEMA 5-15, C13, 3 m | P 4564 309 ZE | |
| 본선 케이블 208 V AC, NEMA 6-15, C13, 3 m | P 4564 309 ZF |
| HiPace 및 전원 팩 TPS/DCU 310/311/400/401에 대한 TC 400/TM 700용 연결 케이블 | PM 061 352 -T |
| M12에 연장 케이블 M12 | PM 061 747 -T | |
| M8에 연장 케이블 M8 | PM 061 783 -T |
| 탄성 중합체 실, FKM, DN 100 CF | 402DFL100-S2 |
| 정전 배기 밸브, 차폐됨, 24 V DC, TC 400, TM 700 및 TC 1200 연결용 G 1/8" | PM Z01 331 |
| 벤팅 밸브, 차폐됨, 24 V DC, G 1/8", TC 400/1200 및 TM 700에 연결용 | PM Z01 291 | |
| 배기 밸브, 차폐형, 24 V DC, TC 400, 1200 및 270° 앵글형 플러그가 달린 TM 700의 연결용 G1/8" | PM Z01 292 | |
| 배기 밸브, 24 V DC, G 1/8", 케이블 미포함 | PM Z01 293 |
| 파일 | 타입 | 언어 | 날짜 | 파일용량 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 데이터 시트 | KO | 2023-05-27 | ~ 610.7 KB | ||
| Step 파일 | STP | KO | 2010-06-23 | ~ 2.5 MB | |
| T | +1 (800) 248-8254 |
| F | +1 (888) 658-7983 |
