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PM P04 712
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TC 400을 갖춘 HiPace® 300 P, DN 100 ISO-F
주문 번호: PM P04 712

  • N2 펌핑 속도가 최대 245 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
  • 통합형 드라이브 전자장치 TC 400
  • 코팅 및 반도체 프로세스와 전자빔 용접과 같이 먼지에 민감한 산업 응용분야에 이상적임
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음
  • 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함
  • 빠른 사이클에 이상적임
  • 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
  • 프로세스에 적합함, 즉 먼지에 대해 내구력이 있음
Ar 압축비 > 1 · 107
Ar펌핑스피드 250 l/s
H2 압축비 3 · 102
H2 펌핑스피드 125 l/s
He 압축비 2.2 · 103
He 펌핑스피드 220 l/s
I/O 인터페이스 RS-485, 원격
N2 압축비 > 1 · 106
N2 최대 1차 진공 1 hPa | 0.75 Torr | 1 mbar
N2 펌핑스피드 245 l/s
PNEUROP에 따른 최종 압력 < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
가변 회전 속도 35 – 100 %
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
냉각 방식
냉각 방식, 옵션 공기
냉각수 소비량 50 l/h
냉각수 소비 최대 50 l/h
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
동작 전압: V DC 24 (± 5 %) V DC
런타임 1.2 min
무게 6.7 kg | 14.77 lb
베어링 하이브리드
벤팅 연결부 G 1/8"
보호 등급 IP54
음압 레벨 ≤50 dB(A)
입자 유입
장착 방향 임의
전력 소비 최대 300 W
전류 최대 12,5 A
전자 드라이브 유닛 TC 400 있음
최대 허용되는 방사형 자기장 5.5 mT
최종 회전속도일 때 Ar 유량 4.4 hPa l/s | 3.3 Torr l/s | 4.4 mbar l/s
최종 회전속도일 때 H2 유량 > 50 hPa l/s | > 37.5 Torr l/s | > 50 mbar l/s
최종 회전속도일 때 He 유량 > 20 hPa l/s | > 15 Torr l/s | > 20 mbar l/s
최종 회전속도일 때 N2 유량 17 hPa l/s | 12.75 Torr l/s | 17 mbar l/s
플랜지(입력) DN 100 ISO-F
플랜지(출력) DN 16 ISO-KF/G ¼"
회전 속도 ± 2 % 60,000 rpm | 60,000 min-1

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

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