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PM P04 740
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TC 400을 갖춘 HiPace® 400 P, DN 100 ISO-K
주문 번호: PM P04 740

  • N2 펌핑 속도가 최대 350 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프
  • 코팅 및 반도체 프로세스와 전자빔 용접과 같이 먼지에 민감한 산업 응용분야에 이상적임
  • 통합형 드라이브 전자장치 TC 400
  • 어느 위치에나 설치할 수 있음
  • 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음
  • 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함
  • 빠른 사이클에 이상적임
  • 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
  • 프로세스에 적합함, 즉 먼지에 대해 내구력이 있음
2707-Operating voltage: V DC 48 (± 5 %) V DC
360-1-Cooling water flow, min. 100 l/h
Ar 압축비 > 1 · 107
Ar펌핑스피드 320 l/s
H2 압축비 4 · 102
H2 펌핑스피드 225 l/s
He 압축비 3 · 103
He 펌핑스피드 420 l/s
I/O 인터페이스 RS-485, 원격
N2 압축비 > 1 · 106
N2 최대 1차 진공 0.9 hPa | 0.68 Torr | 0.9 mbar
N2 펌핑스피드 350 l/s
PNEUROP에 따른 최종 압력 < 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 1 · 10-7 hPa | 7.5 · 10-8 Torr | 1 · 10-7 mbar
냉각 방식, 옵션 공기
냉각수 소비량 100 l/h
냉각수 압력 최대 100 l/h
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
냉각 유형, 표준
런타임 1.6 min
베어링 하이브리드
벤팅 연결부 G 1/8"
보호 범주 IP54
연결 플랜지(입력) DN 100 ISO-K
연결 플랜지(출력) DN 25 ISO-KF/G ¼"
음압 레벨 ≤50 dB(A)
입자 유입
장착 방향 임의
전력 소비 최대 420 W
전류 최대 8,75 A
전자 드라이브 유닛 TC 400 있음
중량 10.9 kg | 24.03 lb
최대 허용 자기장 6 mT
최종 회전속도일 때 Ar 유량 1 hPa l/s | 0.75 Torr l/s | 1 mbar l/s
최종 회전속도일 때 H2 유량 4 hPa l/s | 3 Torr l/s | 4 mbar l/s
최종 회전속도일 때 He 유량 4 hPa l/s | 3 Torr l/s | 4 mbar l/s
최종 회전속도일 때 N2 유량 2 hPa l/s | 1.5 Torr l/s | 2 mbar l/s
통합 전원 팩
회전 속도 ± 2 % 49,200 rpm | 49,200 min-1

치수 도면 TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2019-11-20 ~ 757.2 KB
파일 타입 언어 날짜 파일용량
소프트웨어 TurboViewer (Version 010400) ZIP KO 2018-06-28 ~ 29.9 MB
소프트웨어 LabView Driver (Pfeiffer Vacuum) ZIP KO 2019-07-16 ~ 2.2 MB
운영 지침 TC 400, 전자 드라이브 유닛 for HiPace (PT0203BKO_T) PDF KO 2019-07-16 ~ 2.4 MB
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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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