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PM P04 693
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TC 110 RS를 갖춘 HiPace® 60 P, DN 63 ISO-K
주문 번호: PM P04 693

  • N2 최대 펌핑 속도가 64 l/s이고 Holweck 단계가 없는 소형 고성능 터보 분자 펌프
  • 통합형 드라이브 전자장치 TC 110 RS
  • TC 110 RS의 4개 액세서리 포트와 RS-485
  • 모든 방향에서 설치
  • 신뢰성이 높은 시스템 통합에 이상적임
  • 프로세스에 적합함, 즉 먼지에 대해 내구력이 있음
  • 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
Ar 압축비 2 · 106
Ar펌핑스피드 63 l/s
H2 압축비 2 · 102
H2 펌핑스피드 28 l/s
He 압축비 3.5 · 102
He 펌핑스피드 48 l/s
I/O 인터페이스 RS-485, 원격
N2 압축비 1 · 106
N2 최대 1차 진공 4 hPa | 3 Torr | 4 mbar
N2 펌핑스피드 64 l/s
PNEUROP에 따른 최종 압력 < 1 · 10-6 hPa | < 7.5 · 10-7 Torr | < 1 · 10-6 mbar
가변 회전 속도 50 – 100 %
기체 밸러스트 제외 시 최종 압력 1 · 10-6 hPa | 7.5 · 10-7 Torr | 1 · 10-6 mbar
냉각 방식 대류
냉각 방식, 옵션 공기
냉각수 소비량 75 l/h
냉각수 소비 최대 75 l/h
냉각수 온도 5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K
동작 전압: V DC 24 (± 5 %) V DC
런타임 1 min
무게 2.3 kg | 5.07 lb
베어링 하이브리드
벤팅 연결부 G 1/8"
보호 등급 IP54
음압 레벨 ≤48 dB(A)
장착 방향 임의
전력 소비 최대 110 W
전류 최대 4,6 A
전자 드라이브 유닛 TC 110 RS 있음
최대 허용되는 방사형 자기장 4 mT
최종 회전속도일 때 Ar 유량 0.83 hPa l/s | 0.62 Torr l/s | 0.83 mbar l/s
최종 회전속도일 때 H2 유량 55 hPa l/s | 41.25 Torr l/s | 55 mbar l/s
최종 회전속도일 때 He 유량 55 hPa l/s | 41.25 Torr l/s | 55 mbar l/s
최종 회전속도일 때 N2 유량 9.2 hPa l/s | 6.9 Torr l/s | 9.2 mbar l/s
플랜지(입력) DN 63 ISO-K
플랜지(출력) DN 16 ISO-KF/G ¼"
회전 속도 ± 2 % 90,000 rpm | 90,000 min-1

치수-TIM-RS

Characteristic-TIM-RS-1

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