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PM P05 754
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TCP 350을 갖춘 HiPace® 700 H, DN 160 CF-F
주문 번호: PM P05 754

  • N2 펌핑 속도가 최대 685 l/s인 견고하고 강력한 터보 펌프
  • 특히 가벼운 기체를 최대로 압축할 수 있음, 초고진공의 형성에 적합함
  • 외부 TCP 350 드라이브 전자장치
  • 모든 방향에서 설치
  • 강력한 통합형 냉각 시스템
  • 까다로운 UHV 용도를 위한 DN 160 CF-F 플랜지

H=초고압축률 버전

가변 회전 속도 60 – 100 %
냉각 방법 물
냉각 방법(옵션) 공기(강제 대류)
냉각수 온도 15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K
냉각수 유량 100 l/h
런업 시간 2 min
무게 16.8 kg | 37.04 lb
베어링 하이브리드
보호 등급 IP54
압축률 - Ar > 1 · 1013
압축률 - H2 2 · 107
압축률 - He 1 · 109
압축률 - N2 > 1 · 1013
음압 레벨 ≤50 dB(A)
장착 방향 임의
전원 공급장치 팩 위치 외부형 전원 공급장치 팩
전자 드라이브 유닛 TCP 350
전자 드라이브 유닛 설치 유형 외부 전자 드라이브 유닛 - 불포함
전진공 최대 - N2 22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar
총 누출률 < 1 · 10-7 Pa m3/s | < 7.5 · 10-7 Torr l/s | < 1 · 10-6 mbar l/s
최대 허용되는 방사형 자기장 6 mT
최종 압력 < 1 · 10-10 hPa | < 7.5 · 10-11 Torr | < 1 · 10-10 mbar
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar 2 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 14 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He 18 hPa·l/s
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 3.5 hPa·l/s
펌핑 속도 - Ar 665 l/s
펌핑 속도 - H2 555 l/s
펌핑 속도 - He 655 l/s
펌핑 속도 - N2 685 l/s
플랜지(입력) DN 160 CF-F
플랜지(출력) DN 25 ISO-KF/G ¼"
환기 연결부 G 1/8"
회전 속도 ±2% 49,200 rpm | 49,200 min-1

치수-TIM-RS

파일 타입 언어 날짜 파일용량
데이터 시트 PDF KO 2023-12-06 ~ 464.8 KB
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