전자 드라이브 유닛 설치 유형 |
통합 전자 드라이브 유닛 |
전진공 최대 - N2 |
11 hPa | 8.25 Torr | 11 mbar |
총 누출률 |
< 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s |
최대 전력 소비 |
420 W |
최대 전류 |
8.75 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
6 mT |
최종 압력 |
< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
3.5 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
> 14 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
10 hPa·l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
6.5 hPa·l/s |
펌핑 속도 - Ar |
665 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
555 l/s |
펌핑 속도 - He |
655 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
685 l/s |
플랜지(입력) |
DN 160 ISO-K |
플랜지(출력) |
DN 25 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
49,200 rpm | 49,200 min-1 |