최대 전류 |
3 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
3.3 mT |
최종 압력 |
< 1 · 10-8 hPa | < 7.5 · 10-9 Torr | < 1 · 10-8 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
8.9 hPa l/s | 6.67 Torr l/s | 8.9 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
2.3 hPa l/s | 1.73 Torr l/s | 2.3 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
0.7 hPa l/s | 0.53 Torr l/s | 0.7 mbar l/s |
통합형 전원 공급장치 팩 |
예 |
펌핑 속도 - Ar |
66 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
48 l/s |
펌핑 속도 - He |
58 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
67 l/s |
플랜지(입력) |
DN 63 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 16 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
90,000 rpm | 90,000 min-1 |