최대 냉각수 유량 |
75 l/h |
최대 전력 소비 |
110 W |
최대 전류 |
4,6 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
3.8 mT |
최소 냉각수 유량 |
75 l/h |
최종 압력 |
< 5 · 10-10 hPa | < 3.75 · 10-10 Torr | < 5 · 10-10 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
0.54 hPa l/s | 0.41 Torr l/s | 0.54 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
15.3 hPa l/s | 11.47 Torr l/s | 15.3 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
1.3 hPa l/s | 0.97 Torr l/s | 1.3 mbar l/s |
펌핑 속도 - Ar |
66 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
48 l/s |
펌핑 속도 - He |
58 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
67 l/s |
플랜지(입력) |
DN 63 CF-F |
플랜지(출력) |
DN 16 ISO-KF/G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
90,000 rpm | 90,000 min-1 |