전진공 최대 - N2 |
20 hPa | 15 Torr | 20 mbar |
총 누출률 |
< 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s |
최대 냉각수 유량 |
75 l/h |
최대 전력 소비 |
110 W |
최대 전류 |
4,6 A |
최대 허용되는 방사형 자기장 |
5 mT |
최소 냉각수 유량 |
75 l/h |
최종 압력 |
< 4 · 10-7 hPa | < 3 · 10-7 Torr | < 4 · 10-7 mbar |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - Ar |
0.46 hPa l/s | 0.34 Torr l/s | 0.46 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - H2 |
110 hPa l/s | 82.5 Torr l/s | 110 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - He |
7.3 hPa l/s | 5.47 Torr l/s | 7.3 mbar l/s |
최종 회전 속도에서 가스 처리량 - N2 |
1.8 hPa l/s | 1.35 Torr l/s | 1.8 mbar l/s |
펌핑 속도(단간 펌핑) - Ar |
0.13 l/s |
펌핑 속도(단간 펌핑) - H2 |
0.3 l/s |
펌핑 속도(단간 펌핑) - He |
0.16 l/s |
펌핑 속도(단간 펌핑) - N2 |
0.15 l/s |
펌핑 속도 - Ar |
53 l/s |
펌핑 속도 - H2 |
21 l/s |
펌핑 속도 - He |
27 l/s |
펌핑 속도 - N2 |
53 l/s |
플랜지(입력) |
DN 63 ISO-K |
플랜지(출력) |
G ¼" |
환기 연결부 |
G 1/8" |
회전 속도 ±2% |
49,000 rpm | 49,000 min-1 |