액세서리를 냉각 제품 공냉 장치 추가 정보 열기 추가 정보 닫기 시스템 통합에 적합, 추가적인 냉각수 공급 불필요 수냉 추가 정보 열기 추가 정보 닫기 최대 성능과 추가적인 공정의 유연성을 위해. 고출력 및 사이클이 빠른 작동에 필요함. 펌프 가열 시 UHV 응용분야에서 필수불가결함.