액세서리를 냉각

시스템 통합에 적합, 추가적인 냉각수 공급 불필요

최대 성능과 추가적인 공정의 유연성을 위해. 고출력 및 사이클이 빠른 작동에 필요함. 펌프 가열 시 UHV 응용분야에서 필수불가결함.