밀봉 기체

밀봉 기체 밸브와 스로틀은 모터와 베어링 영역을 부식성 매질로부터 보호하는 파이퍼 베큠의 불활성 기체용 유입구로서 사용됩니다.

밀봉 기체 밸브, 차폐됨(보통 닫혀 있음)

펌프 전자 드라이브 유닛 대기압에서의 기체 흐름 [sccm (0 °C)] 기계적 연결 분류 주문 번호
HiPace 30/60/80 TC 110, TCP 350 7.5 – 9.5 G 1/8" 밀봉 기체 밸브, 차폐됨 PM Z01 310
HiPace 300 TC 110/120, TCP 350 12.5 – 15 G 1/8" 밀봉 기체 밸브, 차폐됨 PM Z01 311
HiPace 300/400/700/800 TC 400/TM 700/TCP 350 12.5 – 15 G 1/8" 밀봉 기체 밸브, 차폐됨 PM Z01 312
HiPace 400/700/800 P 버전 및 HiPace 1200 ~ 2300 TC 400/1200/TCP 350 17.5 – 20 G 1/8" 밀봉 기체 밸브, 차폐됨 PM Z01 313
HiPace 1200-2300 TC 1200 22 – 27 G 1/8" 밀봉 기체 밸브, 차폐됨 PM Z01 314

밀봉 기체 스로틀

펌프 전자 드라이브 유닛 대기압에서의 기체 흐름 [sccm (0 °C)] 기계적 연결 분류 주문 번호
HiPace 30/60/80 7.5 – 9.5 G 1/8" 밀봉 기체 스로틀 PM Z01 316
HiPace 300 - 800 12.5 – 15 G 1/8" 밀봉 기체 스로틀 PM Z01 317
HiPace 400/700/800 P 버전 및 HiPace 1200 ~ 2300 17.5 – 20 G 1/8" 밀봉 기체 스로틀 PM Z01 318
HiPace 1200 - 2300 22 – 27 G 1/8" 밀봉 기체 스로틀 PM Z01 319
HiPace 1200-2300 45 – 60 G 1/8" 밀봉 기체 스로틀 PM Z01 325

밀봉 기체 스로틀

펌프 전자 드라이브 유닛 대기압에서의 기체 흐름 [sccm (0 °C)] 기계적 연결 분류 주문 번호
HiPace 300-2300/HiPace 300 M – 800 M TC 400/TC 1200/TM 700 G 1/8" 밀봉 기체 모니터링 장치 PM 016 911 -U
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