건식 루츠 펌핑 스테이션
빠른 펌핑 속도를 요구하는 응용 분야의 경우, HeptaDry 시리즈의펌프를 다양한 옵션을 가지고 모듈식으로 설계된 OktaLine 시리즈의 루츠 펌프와 결합할 수 있습니다.
- OktaLine 루츠 펌프 및 HeptaDry 펌프로 구성된 무오일 펌핑 스테이션
- 공기 배출 시간이 빠른 450 ~ 1800m3/h의 빠른 펌핑 속도
- 요청에 따라 더 빠른 펌핑 속도 가능
빠른 펌핑 속도를 요구하는 응용 분야의 경우, HeptaDry 시리즈 펌프를 다양한 옵션을 가지고 모듈식으로 설계된 HiLobe 시리즈의 루츠 펌프와 결합할 수 있습니다.
- HiLobe 루츠 펌프 및 HeptaDry 펌프로 구성된 무오일 펌핑 스테이션
- 공기 배출 시간이 빠른 959 ~ 5098m3/h의 빠른 펌핑 속도
- 요청에 따라 더 빠른 펌핑 속도 가능
파이퍼 베큠은 루츠 펌프를 다 스테이지 배압 펌프와 결합한 건식 루츠 펌핑 스테이션을 제공합니다. 이 펌핑 스테이션에서 가능한 높은 펌프 속도로 저압을 달성할 수 있습니다.
건식 루츠 펌핑 스테이션은 반도체 산업과 같은 산업 공정을 위한 최첨단 솔루션입니다. 예를 들어 부하 락 응용 분야 또는 스퍼터링 공정용 배압 펌프와 같이 공정 요구조건이 덜 엄격한 분야에서는 보호용 장비를 줄인 펌핑 스테이션을 사용할 수 있습니다. 당사는 소형 진공실에서 태양광 기술과 디스플레이 패널 제조에서의 최대 처리량에 이르기까지 모든 것을 제공합니다.
이점
- 건식 무유 흡입실
- 이 솔루션은 최적화된 펌프 용량과 높은 신뢰성을 제공합니다.
응용 분야
- 코팅
- 금속 공학
- 진공 건조
- 탈기체
- 광전지
- 연구개발
- 화학 산업
